半導体製造におけるプロセス要求に適合する比抵抗測定システム（日本語版）

ソーントン製比抵抗センサは、長年にわたり純水製造の現場を支えてきました。比抵抗計はその測定値の信頼性と耐久性の高さから、数年前までは新しい純水製造システムが設計されてもその重要性は認識されていませんでした。

比抵抗測定システムがプラントの定期点検（1年または半年ごと）のメンテナンス時に見落とされてしまうことも多々ありました。校正は重視されておらず、場合によっては、現場での校正さえ実施されないこともありました。しかし今日、純水製造システムに新技術が導入され、日々進歩していく中で、比抵抗測定システムは純水製造システムにとって不可欠な要素となりつつあります。純水製造システムの設計者は、さらに高い信頼性、低コスト性、校正作業の簡便さや精度の向上を要求しています。