ウェビナー：超純水の精製パラメータ

今日の半導体業界は、最高品質の超純水(UPW)を使用して集積回路を製造しています。このオンデマンドウェビナーでは、超純水の製造に必要な重要な分析パラメータと、測定を使用してプロセス制御を改善する方法を説明しています。

プレゼンターは、超純水スキッドを監視するための重要な分析的な浄水パラメータだけでなく、プロセスでそれらを監視すべき場所についても説明します。

超純水に推奨される限界値パラメータそれらの標準がレビューされます。またプレゼンターでは、超純水製造の追加情報の提供と制御に使用する分析ツールについて詳しく説明します。比抵抗、TOC、シリカ、溶存酸素の測定は、UPWの最高品質を維持するために重要であるだけでなく、これらの浄水パラメータは、さまざまな半導体ツールでUPWを使用するための重要な測定値です。