半導体向け超純水の比抵抗および全有機体炭素(TOC)に求められる条件は、他の産業で求められる条件よりかなり厳しいものとなっています。有機物やその他の汚染物により基板がダメージを受けることで、生産量の低下を招きます。汚染物質のレベルを正確、高速、かつ効率良く測定することで、製品不良により発生する多額の損失を回避できます。

メトラー・トレド ソーントンは、半導体処理と超純水製造に欠かせない測定技術に関する豊富な知識を持っています。ソーントンの導電率/比抵抗、TOC、pH、ORP、溶存酸素および溶存オゾン測定センサは、超純水システムの監視や制御用として世界中の数多くの半導体製造工場で採用されています。