A hatékony vízkörforgás-kezelés kulcsfontosságú a félvezetőgyártásban, mivel az ultratiszta vizet (UPW) széles körben használják a különböző folyamatokban. A félvezetőipar az UPW legnagyobb fogyasztója világszerte, ami szigorú protokollokat igényel az erőforrás hatékony kezeléséhez és újrahasznosításához.
A METTLER TOLEDO Thornton műszerei gyártósoron felügyelik a víztisztítás minden fázisát, míg a METTLER TOLEDO laboratóriumi műszerei ideálisak a pontos vízminőség-ellenőrzésekhez a laboratóriumban és a gyártósori alkalmazásokban.
A félvezetőgyártásban a vízkörforgás a nyersvíz (1) létesítménybe szállításával kezdődik, ahol előkezelésen (2), sminkelésen és polírozáson (3) megy keresztül. A polírozás után az UPW-t a gyártóüzembe (4 - Fab) osztják szét, ahol többféle szerszámban és folyamatban használják, például tisztításban, maratásban és kémiai mechanikai síkosításban (CMP). Használat után a vizet gyakran visszanyerik (5) újrahasznosítás céljából az UPW körön belül, más alkalmazásokban, például kazánokban és mosókban (11) használják, vagy szennyeződési szintje alapján hulladékként (6) kezelik.
Az ellenállás és a teljes szerves széntartalom (TOC) elengedhetetlen az UPW minőségének ellenőrzéséhez. Például az ellenállás nem lehet kevesebb, mint 18,18 megaohm centiméterenként 25 ° C-on, és a TOC-szinteket 1 ppb (ppb) alatt kell tartani.
Az oldott oxigén (DO) kritikus fontosságú a szennyeződés megelőzésében. A Thornton optikai oldottoxigén-érzékelői hosszú élettartamot és minimális karbantartást igényelnek, így ideálisak az alacsony oldottoxigén-szint fenntartásához.
A pH és a vezetőképesség kulcsfontosságú a hulladéksemlegesítési folyamatokban, különösen káros vegyi anyagok, például hidrogén-fluorid vagy ammónia esetén. A megfelelő pH-szenzorok használata biztosítja a biztonságos ártalmatlanítást és a környezetvédelmi előírásoknak való megfelelést.
A szilícium-dioxid és nátrium monitorozása segít fenntartani a kevert ágyas vagy elektrodeionizációs kötegek egészségét, amelyek kulcsfontosságúak a víz tisztításához.
Szerves vegyületek A szerves szennyeződések monitorozása a félvezető fabokban használt ultratiszta vízben. Az UV/VIS spektrofotometria az abszorbancia spektrum mérésével képes kimutatni a szerves vegyületek nyomait, biztosítva, hogy a víz megfeleljen a magas tisztasági szabványoknak.
A nehézfémek elemzése az egyes szennyező anyagok abszorbanciáját méri, biztosítva, hogy a szennyvízkezelési folyamatok hatékonyak legyenek és megfeleljenek a környezetvédelmi előírásoknak.
A félvezetőipar egyre inkább a vízlábnyom csökkentésére összpontosít. A különböző régiók jogszabályai a víz nagymértékű, gyakran akár 90%-os újrafelhasználását és visszanyerését írják elő. A hulladékáramok hatékony elkülönítése és kezelése, például a hidrogén-fluorid semlegesítése és az ammónia biztonságos kibocsátás érdekében történő átalakítása kritikus lépés ebben a folyamatban.
A félvezetőgyártásban a hatékony vízkörforgás-menedzsment nemcsak az UPW legmagasabb minőségének biztosításáról szól, hanem a környezeti felelősség fenntartásáról is. A fejlett érzékelőtechnológia alkalmazásával, valamint a szigorú felügyeleti és karbantartási protokollok betartásával a félvezető létesítmények optimalizálhatják vízfelhasználásukat, biztosíthatják a szabályozási szabványoknak való megfelelést, és hozzájárulhatnak a környezeti fenntarthatósághoz.
A METTLER TOLEDO Thornton szenzorok és analizátorok átfogó portfólióját kínálja, beleértve a pH-, vezetőképesség-, ellenállás-, TOC-, oldottoxigén-, mikrobiális detektálási és szilícium-dioxid-szenzorokat. Ezek a műszerek szerves részét képezik a legmagasabb minőségű UPW fenntartásának. Az ISM (Intelligent Sensor Management) technológia prediktív diagnosztikát, adaptív kalibrálást és karbantartási riasztásokat kínál, növelve a működési hatékonyságot és csökkentve az állásidőt.
A pontosan elvégzett offline vízelemzések segítenek ellenőrizni az online felügyeleti rendszer pontosságát, olyan asztali műszerek alkalmazásával, mint a sűrűség, törésmutató, pH, vezetőképesség, ionok és oldott oxigén (DO),titrálás és UV/VIS mérések.
Megértjük, hogy a pontosság és a megbízhatóság elengedhetetlen az Ön munkájában, és megoldásainkat úgy alakítottuk ki, hogy támogassák Önt az út minden lépésében. Csapatunk elkötelezett amellett, hogy berendezései zökkenőmentesen működjenek, így Ön arra összpontosíthat, ami a legfontosabb – úttörő eredmények elérésére. Dolgozzunk együtt, hogy fokozzuk erőfeszítéseit és ösztönözzük az innovációt a félvezetők területén.
