半導體超純水中的總有機碳分析

在半導體製程中，針對純水和超純水系統的離子和有機污染問題，有一些最嚴格的規範。半導體生產用水中總有機碳的量測讓廠商能夠提高產品品質並最大限度地提高產量。水質淨化技術的進步以及污染物監測儀器的創新，對於改善和量測超純水的品質起到了重要的作用。而這些進步反過來又要求降低超純水系統中所有污染物的含量。

半導體超純水中的總有機碳/TOC分析是微電子產業中用於監測超純水中有機污染物和超純水系統的「健康狀況」的一種強大方法。有机物为配水系統、儲存罐和加工技术或处理模块中存在的任何细菌提供了食物來源。超純水系統中準確、便捷的有機物含量量測可以防止產品損失，從而節省數百萬美元。

6000TOCi感測器 和M800傳送器採用了經過驗證的多參數技術和低維護的工業設計，在提供滿足上述要求所需效能的同時，還實現了持續的線上測量。6000TOCi感測器與M800傳送器直接連接，額外提供了量測參數能力。帶有M800傳送器的6000TOCi感測器配備了METTLER TOLEDO的智慧型感測器管理(ISM)系統。ISM的先進診斷功能有助於確保感測器始終保持良好的效能。

閱讀本應用說明並瀏覽以下內容，深入了解6000TOCi感測器與M800傳送器，以及如何將其用於超純水中的總有機碳分析：

• 6000TOCi 感測器 - 高效能總有機碳感測器，用於透過即時量測和穩定、準確的分析來監測半導體用水的總有機碳。具有可驗證系統效能的高效水質感測器。
• M800傳送器 - 除了總有機碳之外，該多參數傳送器還可配備另外三種分析感測器，包括電導率、pH值、ORP或溶解氧[SST1]，以及壓力、水箱水位或兩種流量感測器。
• 智慧型感測器管理(ISM) – 這種數位感測器技術可確保預測性維護、簡化感測器的操作，讓生產更有效率。