Effektiv styring af vandkredsløbet er afgørende i halvlederfremstilling på grund af den omfattende brug af ultrarent vand (UPW) i forskellige processer. Halvlederindustrien er den største forbruger af UPW globalt, hvilket kræver strenge protokoller for at administrere og genbruge denne ressource effektivt.
METTLER TOLEDOs Thornton-instrumenter overvåger alle faser af vandrensning in-line, mens METTLER TOLEDOs laboratorieinstrumenter er ideelle til punktlig vandkvalitetskontrol i laboratoriet og på linjen.
Vandkredsløbet i halvlederfremstilling begynder med, at råvand (1) bringes til anlægget, hvor det gennemgår forbehandling (2), makeup og polering (3) trin. Når den er poleret, distribueres UPW til fabrikationsanlægget (4 - Fab), hvor den bruges i flere værktøjer og processer, såsom rengøring, ætsning og kemisk mekanisk planarisering (CMP). Efter brug genvindes vandet ofte (5) til genanvendelse inden for UPW-kredsløbet, bruges i andre anvendelser som kedler og skrubbere (11) eller behandles som affald (6) baseret på dets forureningsniveauer.
Resistivitet og totalt organisk kulstof (TOC) er afgørende for overvågning af UPW-kvaliteten. For eksempel bør resistiviteten ikke være mindre end 18,18 megaohm pr. centimeter ved 25° C, og TOC-niveauer bør holdes under 1 del pr. milliard (ppb).
Opløst ilt (DO) er afgørende for at forhindre kontaminering. De optiske DO-sensorer fra Thornton har lang levetid og kræver minimal vedligeholdelse, hvilket gør dem ideelle til at opretholde lave niveauer af opløst ilt.
pH og ledningsevne er nøglen i affaldsneutraliseringsprocesser, især når man beskæftiger sig med skadelige kemikalier som flussyre eller ammoniak. Brug af de rigtige pH-sensorer sikrer sikker bortskaffelse og overholdelse af miljøbestemmelser.
Overvågning af silica og natrium hjælper med at opretholde sundheden for blandede leje- eller elektrodeioniseringsstakke, som er afgørende for vandrensning.
Overvågning af organiske forurenende stoffer i ultrarent vand, der anvendes i halvlederfabrikker. UV/Vis-spektrofotometri kan detektere spor af organiske forbindelser ved at måle absorbansspektret, hvilket sikrer, at vandet opfylder høje renhedsstandarder.
Tungmetalanalyse måler absorbansen af specifikke forurenende stoffer og sikrer, at spildevandsbehandlingsprocesserne er effektive og i overensstemmelse med miljøbestemmelserne.
Halvlederindustrien er i stigende grad fokuseret på at reducere sit vandfodaftryk. Lovgivningen i forskellige regioner kræver høje niveauer af genbrug og genvinding af vand, ofte op til 90 %. Effektiv adskillelse og behandling af affaldsstrømme, såsom neutralisering af flussyre og omdannelse af ammoniak til sikker udledning, er kritiske trin i denne proces.
Effektiv styring af vandkredsløbet i halvlederproduktion handler ikke kun om at sikre den højeste kvalitet af UPW, men også om at opretholde miljømæssig ansvarlighed. Ved at anvende avanceret sensorteknologi og overholde strenge overvågnings- og vedligeholdelsesprotokoller kan halvlederanlæg optimere deres vandforbrug, sikre overholdelse af lovmæssige standarder og bidrage til miljømæssig bæredygtighed.
METTLER TOLEDO Thornton leverer en omfattende portefølje af sensorer og analysatorer, herunder pH-, ledningsevne-, resistivitets-, TOC-, opløst ilt-, mikrobiel detektion og silica-sensorer. Disse instrumenter er en integreret del af opretholdelsen af UPW af højeste kvalitet. ISM-teknologi (Intelligent Sensor Management) tilbyder prædiktiv diagnosticering, adaptiv kalibrering og vedligeholdelsesadvarsler, hvilket forbedrer driftseffektiviteten og reducerer nedetid.
Offline vandanalyser, der udføres punktligt, hjælper med at verificere nøjagtigheden af online-overvågningssystemet med applikationer til stationære instrumenter såsom densitet, brydningsindeks, pH, ledningsevne, ioner og opløst ilt (DO), titrering og UV/Vis-målinger.
Vi forstår, at præcision og pålidelighed er afgørende i dit arbejde, og vores løsninger er designet til at støtte dig hele vejen. Vores team er dedikeret til at holde dit udstyr kørende, så du kan fokusere på det, der betyder mest – at opnå banebrydende resultater. Lad os arbejde sammen om at forbedre din indsats og drive innovation inden for halvlederområdet.
