Senzor nastavuje nový standard v přesnosti měření měrného odporu

Významný výrobce polovodičů požadoval snímač odporu, který by překonal výkon v současnosti dostupných přístrojů. Společnost METTLER TOLEDO Thornton spolupracovala s výrobním závodem na senzoru, který nastavuje nový standard v měření měrného odporu.

Náročné dodržování zlepšené výtěžnosti výroby ze strany výrobce si vyžádalo úroveň stability a přesnosti měření odporu, která výrazně překračuje současné průmyslové standardy. S cílem najít řešení bylo navázáno partnerství se společností METTLER TOLEDO.

Výsledkem je UPW UniCond™, senzor odporu s výrazně lepší teplotní kompenzací, stabilitou signálu a izolací prostředí, než byl dříve k dispozici.

Na základě velmi úspěšných výsledků testů přijal výrobce UPW UniCond jako své nové řešení pro měření odporu a specifikoval, že všechny jeho globální závody používají nový senzor při modernizaci nebo navrhování nových továren.

Případová studie se zabývá testováním prováděným výrobcem a výsledky.

Vzhledem k tomu, že se šířky polovodičových linek stále zmenšují, potřeba zlepšit kvalitu ultračisté vody jen poroste, aby se udržela vysoká výtěžnost waferů.

Většina snímačů odporu nabízí přesnost měření +/- 1 %. V současné době akční úrovně nastavené SEMI F63 spadají do tohoto rozsahu chyb. Tato úroveň nejistoty může být pro některé procesy přijatelná, ale nepomáhá polovýrobním společnostem uspokojit jejich potřeby při výrobě technologií nové generace. UPW UniCond je jediný dostupný snímač odporu, který je schopen dosáhnout přesnosti ≥0,5 % při měření odporu s kompenzací teploty.

Víc se uč