 |
Odvětví výroby polovodičů se rychle rozvíjí a vykazuje zvýšenou poptávku po více čipech na jeden plát a užší tloušťce čáry v řádu jednotek nanometrů. Pro splnění těchto úkolů je nutno zavést monitorování a řízení ultračisté vody (UPW) za účelem detekce iontových nečistot, které by mohly mít negativní dopad na výtěžnost plátu. Dva významné parametry, které je nutno monitorovat on-line a v reálném čase pro zajištění čistoty vody, jsou celkový organický uhlík (TOC) a měrný odpor. Schopnost přesně měřit tyto parametry na úrovni nižší než ppb v systémech ultračisté vody umožňuje výrobcům polovodičů zlepšit kvalitu výrobků a maximalizovat výtěžnost.
6000TOCi a M800 poskytují odvětví mikroelektroniky nejpokročilejší nástroj pro zajištění průběžného on-line měření a řízení procesů vyžadovaných pro systémy ultračisté vody. Systém METTLER TOLEDO TOC zaručuje nejnižší náklady na místo měření s nejrychlejší reakcí, pokročilou integrovanou diagnostikou a detekcí úrovně nižší než ppb.
Senzor UniCond, 6000TOCi a převodník M800 představují tu nejlepší investici pro snížení rizika a zvýšení výnosu pro odvětví mikroelektroniky.
Tato bílá kniha pojednává o těchto tématech:
- Význam on-line analýzy měrného odporu a TOC.
- Ultračistá voda při výrobě polovodičů.
- Průběžný měrný odpor a monitorování TOC v reálném čase.
Ideální řešení výrobků od společnosti METTLER TOLEDO pro odvětví mikroelektroniky jsou senzor 6000TOCi, senzor UniCond a převodníky M800.
6000TOCi je on-line senzor TOC, který poskytuje údaje v reálném čase a nabízí prediktivní diagnostiku. Senzor provádí měření každou sekundu, což umožňuje průběžnou analýzu TOC vodního systému. Senzor 6000TOCi je ideální ve všech aplikacích čisté vody, kde je důležitá rychlá detekce hladiny TOC, a umožňuje vedení komplexních záznamů historie a klíčových statistických údajů.
Senzor UniCond od společnosti METTLER TOLEDO nabízí přesné a opakovatelné měření. Senzor UniCond je vybaven inteligentní správou senzorů (ISM). Senzory ISM nabízí lepší výkon než analogové sondy z několika důvodů, včetně vestavěného mikroprocesoru, který převádí analogový signál ze senzoru na samotné měření parametru.
Systém měření doplňuje převodník METTLER TOLEDO M800. Jedná se o víceparametrový převodník, který nabízí flexibilitu instalace a zjednodušení měření v rámci řízení procesu. Současně může monitorovat jeden, dva nebo čtyři in-line senzory.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Senzor konduktivity / Senzor rezistivity")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Převodníky")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "In-line pH sonda / ORP (redox) sonda")