Aplikační poznámka: Analýza celkového obsahu organického uhlíku v ultračisté vodě při výrobě polovodičů

Tato aplikační poznámka se zabývá důležitostí spolehlivé analýzy celkového obsahu organického uhlíku v ultračisté vodě používané ve výrobě polovodičů. Pojednává o analýze, která poskytuje výsledky v reálném čase. Ultračistá voda je nejnenasytnější a nejagresivnější rozpouštědlo používané ve výrobě mikroelektroniky při čištění a výrobě křemíkových plátů. Za uplynulých čtyřicet let se počet obvodů leptaných do křemíkových čipů zvyšuje exponenciálně. Vyšší počet obvodů znamená výrazné ztenčení jednotlivých linek, a tedy i násobné zpřísnění požadavků na přesné a průběžné měření celkového obsahu organického uhlíku v ultračisté vodě.

Výroba polovodičů používá specifikace na iontovou a organickou kontaminaci soustavy s čistou a ultračistou vodou, které patří k nejpřísnějším průmyslovým specifikacím vůbec. Měření TOC ve vodě používané ve výrobě polovodičů umožňuje výrobním podnikům zvyšovat kvalitu výrobků a maximálně využívat výrobní zdroje. Vývoj v technologii čištění vody a inovace v oblasti přístrojů pro sledování kontaminantů hrají klíčovou úlohu ve zkvalitňování ultračisté vody a v měření její kvality. Tento technologický pokrok je naopak hybnou silou zpřísňování specifikací na dovolený obsah všech kontaminantů v soustavách ultračisté vody.

Analýza celkového organického uhlíku (TOC) v ultračisté vody při výrobě polovodičů představuje výkonnou metodu sledování organických kontaminantů v ultračisté vodě a technického stavu soustav ultračisté vody. Organické látky představují živnou půdu pro bakterie, které se běžně vyskytují v rozvodných systémech, skladovacích nádržích a procesních technologiích nebo úpravnách vody. Rychlé, přesné a pohodlné měření množství organických látek v soustavě s ultračistou vodou pomáhá předcházet plýtvání výrobky, a tak dokáže ušetřit miliony dolarů.

Senzor 6000TOCi a převodník M800 nabízejí nejen výkon potřebný ke splnění těchto požadavků, ale i mnohé další výhody průběžného on-line měření. To vše v průmyslovém provedení s nízkými nároky na údržbu a s osvědčenou víceparametrovou technologií. Senzor 6000TOCi se připojuje přímo k převodníku M800, který nabízí možnost měření dalších parametrů. Senzor 6000TOCi s převodníkem M800 je vybaven systémem Inteligentní správy senzorů METTLER TOLEDO Intelligent Sensor Management (ISM. Rozsáhlé diagnostické funkce technologie ISM zajišťují průběžně optimální výkon senzoru.

Přečtěte si podrobnější informace o senzoru 6000TOCi a o převodníku M800 a zjistíte, jak lze tyto přístroje používat k analýze celkového organického uhlíku v ultračisté vodě. Přečtěte si naši aplikační poznámku a navštivte níže uvedené odkazy:

Senzor 6000TOCi – výkonný senzor celkového organického uhlíku, který dokáže monitorovat TOC ve vodě používané při výrobě polovodičů, nabízí měření s výsledky v reálném čase a přesnou, stabilní analýzu. Účinný senzor vody s ověřitelným systémovým výkonem.
Převodník M800 – víceparametrový převodník, který kromě TOC dokáže spolupracovat s dalšími třemi analytickými senzory, včetně senzorů konduktivity, pH, ORP a rozpuštěného kyslíku[SST1] , a navíc dokáže zpracovávat údaje o tlaku, výšce hladiny náplně nebo údaje ze dvou průtokových senzorů.
Inteligentní správa senzorů (Intelligent Sensor Management, ISM) – technologie digitálních senzorů, která zajišťuje předvídatelnou údržbu, snadnou manipulaci se senzory a vysokou účinnost výroby.

Související dokumenty