 |
Un importante produttore di semiconduttore aveva bisogno di un sensore di resistività superiore alla prestazione degli strumenti attualmente disponibili. METTLER TOLEDO Thornton ha collaborato con lo stabilimento alla realizzazione di un sensore che definisce un nuovo standard nella misurazione di resistività.
L'esigente adesione del produttore a una migliore resa produttiva richiedeva un livello di stabilità e accuratezza nella misurazione della resistività superiore agli attuali standard di settore. Per trovare una soluzione è stata avviata una partnership con METTLER TOLEDO.
Il risultato è UPW UniCond(TM), un sensore di resistività con compensazione della temperatura significativamente migliore, stabilità del segnale e isolamento ambientale rispetto al modello precedentemente disponibile.
Sulla base del grande successo dei risultati dei test, il produttore ha accettato UPW UniCond come nuova soluzione di misurazione di resistività e ha specificato che tutti i suoi impianti globali utilizzeranno il nuovo sensore per aggiornare o progettare nuovi impianti.
In questo caso di studio vengono analizzati i test eseguiti dal produttore e i risultati.
Poiché semiconduttore le larghezze delle linee continuano a restringersi, la necessità di migliorare la qualità UPW crescerà solo per mantenere un'elevata resa dei wafer.
La maggior parte dei sensori di resistività offre misurazione accuratezza di +/- 1%. Attualmente, i livelli di azione impostati da SEMI F63 rientrano in questo intervallo di errore. Questo livello di incertezza può essere accettabile per alcuni processi, ma non aiuta i produttori di semiconduttori a soddisfare le loro esigenze per la produzione di tecnologie di prossima generazione. L'UPW UniCond è l'unico sensore di resistività disponibile in grado di raggiungere il ≥05% di accuratezza su un misurazione di resistività con compensazione della temperatura.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Misuratore di conducibilità elettrica in linea | METTLER TOLEDO")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Trasmettitori analitici")