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L'industria dei semiconduttori si sta evolvendo rapidamente, causando l'aumento della richiesta di un maggior numero di chip per wafer e di linee più strette nel range dei nanometri a una cifra. Per far fronte a queste sfide, occorre implementare il monitoraggio e il controllo dell'acqua ultrapura (UPW) al fine di rilevare le impurità ioniche che potrebbero avere un impatto negativo sulla resa dei wafer. Due parametri critici che devono essere monitorati in linea e in tempo reale per garantire la purezza dell'acqua sono il carbonio organico totale (TOC) e la resistività. La capacità di misurare accuratamente questi parametri a livelli di ppb molto bassi nei sistemi UPW consente ai produttori di semiconduttori di migliorare la qualità del prodotto e massimizzare la resa.
I modelli 6000TOCi e M800 offrono al settore della microelettronica gli strumenti più avanzati per eseguire le misure continue in linea e il controllo di processo richiesti dai sistemi UPW. Il sistema di misura di TOC di METTLER TOLEDO offre il miglior rapporto costo-misura insieme alla risposta più rapida, a una diagnostica integrata avanzata e a una rivelazione a livelli di ppb molto bassi.
I sensori UNiCond e 6000TOCi e il trasmettitore M800 rappresentano il miglior investimento per ridurre i rischi e migliorare la resa nel settore della microelettronica.
Il presente libro bianco tratta i seguenti argomenti:
- L'importanza della dell'analisi di TOC e della resistività in linea
- Acqua ultrapura nella produzione di semiconduttori
- Monitoraggio continuo e in tempo reale di resistività e TOC
Le soluzioni ideali di METTLER TOLEDO per il settore della microelettronica sono il sensore 6000TOCi, il sensore UniCond e i trasmettitori M800.
Il 6000TOCi è un sensore TOC in linea, che fornisce dati in tempo reale e diagnostica predittiva. Il sensore effettua misure ogni secondo, consentendo l'analisi continua di TOC del sistema di purificazione acque. Il 6000TOCi è ideale per tutte le applicazioni di acqua pura in cui è fondamentale la rapida rivelazione delle variazioni nei livelli di TOC; il sensore fornisce una tracciabilità completa della cronologia e dei principali dati statistici.
Il sensore UNiCond di METTLER TOLEDO offre una precisione di misura altamente ripetibile. Il sensore UniCond è dotato del sistema Intelligent Sensor Management (ISM). I sensori ISM offrono prestazioni superiori rispetto alle sonde analogiche per una serie di ragioni, tra cui il chip integrato che converte il segnale analogico del sensore nella misura effettiva del parametro.
Il trasmettitore M800 di METTLER TOLEDO completa il sistema di misura. Si tratta di un trasmettitore multiparametrico che offre flessibilità di installazione e misure semplificate di controllo di processo. Può monitorare uno, due o quattro sensori in linea simultaneamente.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Misuratore di conducibilità elettrica in linea | METTLER TOLEDO")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Trasmettitori analitici")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Analizzatori di pH e ORP")