 |
De halfgeleiderindustrie ontwikkelt zich snel, met een toegenomen vraag naar meer chips per wafer en smallere lijnbreedtes in het nanometerbereik met één cijfer. Om deze uitdagingen het hoofd te bieden, moet bewaking en regeling van ultrazuiver water (UPW) worden geïmplementeerd om ionische onzuiverheden op te sporen die de opbrengst van wafers negatief kunnen beïnvloeden. De totale hoeveelheid organische koolstof (TOC) en de weerstand zijn twee belangrijke parameters die online en in real time moeten worden bewaakt om de waterzuiverheid te garanderen. Het vermogen om deze parameters nauwkeurig te meten op sub-ppb-niveaus in UPW-systemen stelt halfgeleiderfabrikanten in staat om de productkwaliteit te verbeteren en de opbrengst te maximaliseren.
De 6000TOCi en M800 bieden de micro-elektronicasector het meest geavanceerde hulpmiddel om te voldoen aan vereisten voor on-line continue meting en procesregeling van UPW-systemen. Het TOC-systeem van METTLER TOLEDO biedt de laagste kosten per meetpunt met de snelste respons, geavanceerde geïntegreerde diagnostiek en detectie van sub-ppb.
De UniCond-sensor, 6000TOCi en M800-transmitter zijn de beste investeringen om risico's te beperken en het rendement voor de micro-elektronicasector te verbeteren.
In deze white paper komen de volgende onderwerpen aan bod:
- Het belang van online analyse van weerstand en TOC
- Ultrazuiver water bij halfgeleiderproductie
- Continue bewaking in real time van weerstand en TOC
De ideale productoplossingen van METTLER TOLEDO voor de micro-elektronicasector zijn de 6000TOCi-sensor, de UniCond-sensor en M800-transmitters.
De 6000TOCi is een online TOC-sensor die gegevens in real time levert en voorspellende diagnostiek biedt. De sensor meet elke seconde en maakt zo een continue TOC-analyse van het watersysteem mogelijk. De 6000TOCi is ideaal voor alle toepassingen met zuiver water waarbij een snelle detectie van veranderingen in het TOC-niveau cruciaal is. De sensor biedt ook een uitgebreide registratie van de historie en belangrijke statistieken.
De UniCond-sensor van METTLER TOLEDO biedt een meetnauwkeurigheid met een zeer hoge herhaalbaarheid. De UniCond-sensor is uitgerust met Intelligent Sensor Management (ISM). Er zijn diverse redenen waarom ISM-sensoren verbeterde prestaties bieden ten opzichte van analoge elektroden, zoals een interne microprocessor die het analoge signaal van de sensor converteert naar de feitelijke meting van de parameter.
De METTLER TOLEDO M800-transmitter maakt het meetsysteem compleet. Het is een multiparametertransmitter die installatieflexibiliteit en vereenvoudigde procesregelingsmetingen biedt. Hij kan één, twee of vier inline sensoren gelijktijdig bewaken.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Conductivity Sensor / Resistivity Sensor")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Transmitters")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "In-Line pH Probe / ORP (Redox) Probe")