Solutions de mesure en ligne pour UPW en microélectronique

Microelectronics
L'industrie microélectronique nécessite de très grandes quantités d'eau ultrapure (UPW) dans le cadre de ses procédés de production. Le nettoyage, le rinçage et la gravure de wafers et de substrats exigent des milliers de mètres cubes d'UPW par jour dans toute usine classique. Les mesures d'analyse industrielle sont essentielles pour optimiser l'usage de l'eau et pour maximiser sa récupération et sa réutilisation.

Mettler-Toledo Thornton propose une vaste gamme d'instruments analytiques conçus spécialement pour les applications les plus exigeantes de traitement en microélectronique et en UPW. Nous fournissons des solutions de qualité supérieure pour le contrôle de la résistivité/conductivité, du COT, du pH, du redox, de l'oxygène dissous et de l'ozone dissous pour augmenter le volume d'eau récupéré, limiter le rejet et réduire les coûts liés au procédé. Découvrez nos solutions de mesure en ligne, dotées de la technologie unique ISM™ (Intelligent Sensor Management).

Semi-conducteur

Semiconductor

L'eau ultrapure est le solvant le plus corrosif et le plus agressif employé par l'industrie des semi-conducteurs dans la production et le nettoyage de wafers. Pour un fonctionnement efficace et pour répondre aux exigences les plus strictes, le contrôle des procédés analytiques du système UPW est crucial.
 

Écrans plats

Flat Panel Display

Les tolérances à la contamination ionique et organique au sein de systèmes d'eau pure et ultrapure sont très strictes dans la fabrication d'écrans plats. La mesure de ces contaminants dans le système UPW permet aux fabricants d'écrans plats d'améliorer la qualité du produit et de maximiser les rendements.
 

Industrie photovoltaïque

Photovoltaic

La fabrication de cellules photovoltaïques nécessite une surface de wafer extrêmement propre ; celle-ci doit être nettoyée et rincée abondamment à l'eau ultrapure. Les sels ioniques ou les contaminants organiques peuvent avoir un impact négatif sur l'efficacité des cellules et doivent faire l'objet d'un contrôle constant.
     
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Centre de téléchargement

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Produits et solutions

Products and Solutions

Notre vaste gamme de produits comprend des solutions pour les applications microélectroniques les plus exigeantes. 
 

Intelligent Sensor Management

ISM

La plate-forme ISM (Intelligent Sensor Management) est un concept de maintenance innovant qui simplifie la manipulation des sondes, améliore la fiabilité et réduit les coûts liés au cycle de vie des sondes.