Trends der Wassernachhaltigkeit in MicroE
Wichtige analytische Messungen zur Steigerung der Ausbeute
Übersicht der Inhalte
- Kontrolle des gesamten organischen Kohlenstoffs, um die Erkennung von organischen Stoffen im sub-ppb-Bereich zu gewährleisten und bakterielle Kontamination zu verhindern.
- Widerstand zur Überwachung der ionischen UPW-Qualität und ihrer Qualität im RCA-Prozess und anderen SEMI-Tools.
- Gelöster Sauerstoff und seine Überwachung und Kontrolle in UPW.
- pH-Kontrolle als kritischer Parameter für den CMP-Prozess und die Neutralisierung von HF- und Ammoniakabfällen Empfehlungen für die Trennung von Rückgewinnungs-/Wiederverwendungs-/Recyclingströmen.
Die Rolle und Bedeutung von UPW-Messungen.
Halbleiter-FABS sind der größte industrielle Nutzer von reinem und ultrareinem Wasser (UPW), das für die Qualität und den Ertrag bei der Produktion von Wafern und integrierten Schaltkreisen entscheidend ist.
Die heutige Industrie steht vor der Herausforderung, genauere Messungen und eine höhere Qualität des Reinstwassers zu erzielen sowie den Wasser- und Energieverbrauch in der Produktion zu reduzieren und sich gleichzeitig auf die Rückgewinnung, Wiederverwendung und das Recycling von Wasser zu konzentrieren.
Angesichts der steigenden Nachfrage nach Halbleitern und der rasanten Fortschritte in der Branche sind kritische analytische Parameter, die für die Produktion von UPW benötigt werden, für eine verbesserte Prozesskontrolle und das Wissen, wie diese Messungen für eine maximale Leistung genutzt werden können, von entscheidender Bedeutung.
Redner
Jim Cannon
Leiter der Abteilung OEM & Märkte, METTLER TOLEDO Thornton
Nach seinem B.S. in Biologie erwarb er weitere Abschlüsse in Mikrobiologie und Biophysik sowie einen MBA in Marketing und Internationalem Management. Herr Cannon verfügt über mehr als 40 Jahre Erfahrung in den Bereichen Management, Design und Entwicklung von Reinstwasseraufbereitung und -technologie. Dazu gehören die Messung der differentiellen Leitfähigkeit und die UV-Oxidation zum Nachweis von TOC in UPW sowie die Entwicklung und Vermarktung von Elektrodeionisationsmodulen. Herr Cannon ist derzeit in den Normen- und Regulierungsorganisationen für die Halbleiter-, Photovoltaik- und Pharmamärkte tätig, einschließlich des Ausschusses für Anlagen und Flüssigkeiten, der Task Force für Rückgewinnung/Wiederverwendung/Recycling und der Task Force für UPW. Er war auch maßgeblich an der Entwicklung und Kommerzialisierung einer alternativen Technologie zum Online-Nachweis von Mikroorganismen beteiligt.
