Les paramètres de mesure les plus critiques de l'UPW en microélectronique sont le carbone organique total, la résistivité, la silice, l'oxygène dissous et l'ozone dissous. La préservation de la qualité de l'eau nécessite l'utilisation de capteurs et d'analyseurs en ligne très performants, que METTLER TOLEDO propose.
Dans le guide "5 Critical Measurements for UPW in Microelectronics", vous trouverez différents articles sur l'importance de la mesure de la pureté de l'eau dans l'industrie microélectronique.
Depuis 1964, METTLER TOLEDO Thornton est à l'avant-garde de la pureté de l'eau dans l'industrie des semi-conducteurs et est reconnu mondialement comme le leader des mesures de l'UPW. Le contrôle de l'UPW protège le produit final des contaminants, ce qui garantit un rendement plus élevé, des temps de cycle plus rapides et une meilleure rentabilité des opérations. Les instruments METTLER TOLEDO pour la résistivité/conductivité, le COT, la contamination microbienne, le pH, l'ORP, l'OD, la silice, le sodium et l'O3 sont spécifiés dans les usines de fabrication de microélectronique du monde entier pour surveiller et contrôler les systèmes UPW critiques. Dans "5 mesures critiques pour l'UPW en microélectronique", vous trouverez des articles sur les différents paramètres de mesure :
- Carbone organique total, en continu et en ligne
- Résistivité, analyseur pour des exigences rigoureuses
- Oxygène dissous, réponse rapide, surveillance des traces
- Ozone dissous, confirmation de l'assainissement du système
Le portefeuille de capteurs de METTLER TOLEDO comprend notamment les éléments suivants :
- Dessondes d'oxygène dissous en ligne pour la surveillance des niveaux d'oxygène.
- Analyseurs de COT pour une mesure rapide et continue.
- Capteurs de résistivité avec la plus grande précision et la plus faible maintenance.
- Analyseurs de silice pour le contrôle de l'eau pure.
- Capteurs d'ozone dissous pour une mesure rapide de l'ozone.