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El proceso de planarización químico-mecánica (CMP) desempeña un papel vital en la producción de superficies lisas y uniformes en las obleas, algo esencial para los dispositivos microelectrónicos y los circuitos integrados. Dentro del proceso de fabricación de semiconductores, la CMP sirve de columna vertebral. Medir el pH y la conductividad de la lechada de CMP garantiza su calidad uniforme, lo que en última instancia es importante para asegurar la calidad y consistencia de la superficie de la oblea. Sin embargo, esto puede suponer un reto debido a la compleja matriz química y a la viscosidad de la muestra de CMP, junto con algunos otros desafíos. Del mismo modo, el alto rango de conductividad también supone un reto. El sensor de pH InLab®Power Pro-ISM y el sensor de conductividad InLab® 731-ISM de METTLER TOLEDO ofrecen una solución precisa y fiable para medir el pH y la conductividad de los lodos de CMP.
La nota de aplicación proporciona una guía completa sobre cómo superar los retos relacionados con la medición del pH y la conductividad de los purines CMP y lograr mejores resultados. También hace hincapié en la importancia de seguir unas buenas prácticas electroquímicas y comparte valiosos consejos de mantenimiento y almacenamiento del sensor.
Para saber cómo medir con precisión el pH y la conductividad de los purines CMP, descargue ahora la nota de aplicación.
Preguntas más frecuentes (FAQ): Cómo obtener una medición precisa del pH y la conductividad en los purines CMP
¿Por qué son importantes las mediciones de pH y conductividad en los purines CMP?
Las mediciones de pH y conductividad son importantes en los purines CMP ya que ayudan a controlar la calidad de los purines CMP, lo que en última instancia garantiza la calidad de la superficie de la oblea, la concentración de partículas abrasivas y otros aditivos. Esto ayuda a mantener el equilibrio óptimo de productos químicos en el lodo y garantiza unos resultados de pulido consistentes y fiables.
¿Cuáles son los retos a la hora de medir el pH y la conductividad de los lodos CMP?
Existen varios retos a la hora de medir el pH y la conductividad de los purines CMP. La viscosidad y la complejidad de la muestra suponen grandes obstáculos, lo que dificulta su análisis. Además, la unión puede obstruirse, el sensor puede resultar dañado por entornos químicos agresivos y puede haber un alto rango de conductividad.
