Tendencias de sostenibilidad del agua en MicroE
Medidas analíticas clave para aumentar el rendimiento
Programa
- Control del carbono orgánico total para garantizar la detección de sustancias orgánicas sub-ppb y evitar la contaminación bacteriana.
- Resistividad para controlar la calidad del UPW iónico y su calidad en el proceso RCA y otras herramientas SEMI.
- Oxígeno disuelto y su seguimiento y control en UPW.
- Control del pH como parámetro crítico del proceso CMP y neutralización de residuos de HF, amoníaco Recomendaciones para la segregación de flujos de recuperación/reutilización/reciclado.
El papel y la importancia de las mediciones de UPW.
Los FABS de semiconductores son el mayor usuario industrial de agua pura y ultrapura (UPW), que son vitales para la calidad y el rendimiento en la producción de obleas y circuitos integrados.
La industria actual se enfrenta al reto de producir mediciones más precisas y UPW de mayor calidad, así como de reducir el volumen de agua y energía utilizados en la producción; además de mantener un enfoque en la recuperación, reutilización y reciclaje del agua.
Con la demanda de semiconductores en continuo crecimiento y los rápidos avances en la industria, los parámetros analíticos críticos necesarios para la producción de UPW para mejorar el control del proceso y el conocimiento sobre cómo utilizar estas mediciones para obtener el máximo rendimiento son clave.
Altavoces
Jim Cannon
Director de OEM y Mercados, METTLER TOLEDO Thornton
Tras licenciarse en Biología, continuó con títulos de posgrado en Microbiología y en Biofísica, y un MBA en Marketing y Gestión Internacional. El Sr. Cannon cuenta con más de 40 años de experiencia en gestión, diseño y desarrollo de tecnología y tratamiento de agua ultrapura. Esto incluye la medición de la conductividad diferencial y la oxidación UV para la detección de TOC en UPW y el diseño y comercialización de módulos de electrodesionización. El Sr. Cannon participa actualmente en las organizaciones normativas y reguladoras de los mercados de semiconductores, fotovoltaico y farmacéutico, incluido el comité de instalaciones y líquidos, el grupo de trabajo de recuperación/reutilización/reciclaje y el grupo de trabajo de UPW. También ha estado íntimamente implicado en el desarrollo y la comercialización de tecnología alternativa de detección microbiana en línea.
