반도체산업에서 에칭산의 함량분석
반도체산업에서 에칭 작업은 화학적인 방법으로 회로기판의 패턴을 형성하는 것을 말합니다.
에칭에서 사용되는 산의 함량에 따라 회로기판이 너무 강하게 에칭이 될 수도 있고 충분하지 않게 에칭이 될 수 있기 때문에
산의 정밀한 함량 분석이 매우 중요합니다.
이번 자료에서는 METTLER TOLEDO 자동 적정기와 LabX PC 소프트웨어를 사용하여 완전 자동으로 산의 함량을 분석하는 솔루션을 제공합니다.
그림:T70 자동적정기와 Rondo20 오토샘플러
황산의 정확한 분석을 위해서는 정확한 1mol/L의 농도를 갖는 수산화나트륨(적정제)이 필요합니다.
METTLER TOLEDO 자동적정기는 정확한 적정제의 농도를 얻기 위해 자동으로 TITER(농도보정계수)를 측정하여
자동TITER 보상기능이 있으며 적정제의 만료일이나 수명을 설정하여 적정제 교체주기를 확인할 수 있습니다.
비커에 알맞은 샘플양을 취하여 Rondo20 오토샘플러에 놓기만 하면 단 한번의 클릭으로 SP250펌프가 60mL증류수를
자동으로 비커에 채운 후 1mol/L 수산화나트륨으로 적정하여 첫 번째 당량점(EQP)의 결과를 얻게 됩니다.
결과는 자동적으로 내장되어 있는 분석법과 계산식에 의해 황산의 함량을 보여줍니다.
적정분석이 완료되면 Rondo20 오토샘플러에 장착된 membrane펌프와 PowerShowerTM 에 의해 전극과 교반기가
자동으로 세척이 되어 적정분석이 완료됩니다.
본 실험은 황산과 같은 산 함량 적정에 적합한 DGi115-SC를 사용하여 정밀한 황산의 함량을 분석할 수 있습니다.
뿐만 아니라 이 전극은 질산, 초산, 염산이 모두 포함되어 있는 혼산 분석에도 적합합니다.
Result:
