隨著半導體的晶片和晶圓變大且線寬變窄,目前對超純水品質的要求也愈來愈高。要測定出水的純度,可以仰賴能在純度相當高的水源中可靠運作的電阻率感測器 (這本身就是一項挑戰)。
藉由免費的白皮書瞭解如何能提高電阻率的測量準確性。