 |
Eden največjih proizvajalcev polprevodnikov v Aziji je imel težave pri meritvah raztopljenega kisika. Pri njem so uporabljali drag sistem, pri katerem je po vzdrževanju trajalo tri do štiri dni, da so bili odčitki raztopljenega kisika dovolj stabilni za uporabo.
Livarna je ocenjevala optične RK senzorje in transmiter M800 podjetja METTLER TOLEDO Thornton kot rešitev za meritve raztopljenega kisika v svojih sistemih za ultra čisto vodo.
Meritve raztopljenega kisika so bile med prednostnimi nalogami v tem livarskem objektu za polprevodnike. Imeli so visoka pričakovanja, vključno z zelo visoko hitrostjo odzivanja, nizkimi ravnmi zaznavanja in manj vzdrževanja. METTLER TOLEDO ni le izpolnil njihovih pričakovanj, temveč jih je presegel z rešitvijo, ki vključuje optični RK senzor in transmiter M800. Polarizacija pri RK senzorjih z optično tehnologijo ni potrebna, zato je razpoložljivost merilnega sistema zelo visoka. Transmiter M800 ima večkanalne, večparametrske zmogljivosti, ki omogočajo povezovanje meritev raztopljenega kisika z meritvami drugih parametrov.
Prenesite študijo primerov in preberite vse podrobnosti, vključno z naslednjimi temami:
- Zakaj se meri raztopljeni kisik v livarni za polprevodnike?
- Prednosti natančnosti in odziva
- Dolgoročni prihranki z optičnimi meritvami
Raztopljeni kisik se meri po razplinjenju ultra čiste vode (UPW), da potrdimo odstranitev kisika iz vode. Zmanjševanje raztopljenega kisika ohranja nizko prevodnost vode, kar je ključnega pomena za nadaljnje faze obdelave, še posebej za neprekinjeno elektrodeionizacijo. Koncentracije raztopljenega kisika v vodi na mestu uporabe (POU) se med obdelavo vode ohranjajo pri manj kot 5 ppb, s čimer preprečimo izgubo nadzora nad gostoto gate oksida. Pri višji ravni raztopljenega kisika na mestu uporabe se lahko pojavi nepričakovano jedkanje zaradi oksigenirane vode, kar vodi v okvare in nizek izkoristek – z visokimi stroški.
