Effektiv hantering av vattnets kretslopp är avgörande vid tillverkning av halvledare på grund av den omfattande användningen av ultrarent vatten (UPW) i olika processer. Halvledarindustrin är den största konsumenten av UPW globalt, vilket kräver rigorösa protokoll för att hantera och återvinna denna resurs effektivt.
METTLER TOLEDO Thornton-instrumentering övervakar alla steg i vattenreningen in-line, medan METTLER TOLEDO:s laboratorieinstrument är idealiska för punktliga vattenkvalitetskontroller i laboratoriet och vid linjeapplikationer.
Vattencykeln vid tillverkning av halvledare börjar med att råvatten (1) förs till anläggningen, där det genomgår förbehandling (2), makeup och polering (3). När den har polerats distribueras den till tillverkningsanläggningen (4 - Fab), där den används i flera verktyg och processer, såsom rengöring, etsning och kemisk mekanisk planarisering (CMP). Efter användning återvinns vattnet ofta (5) för återvinning inom UPW-kretsloppet, används i andra tillämpningar som pannor och skrubbrar (11) eller behandlas som avfall (6) baserat på dess föroreningsnivåer.
Resistivitet och totalt organiskt kol (TOC) är avgörande för att övervaka kvaliteten på soluppgrävningsvattnet. Till exempel bör resistiviteten inte vara mindre än 18,18 megaohm per centimeter vid 25 ° C, och TOC-nivåerna bör hållas under 1 del per miljard (ppb).
Upplöst syre (DO) är avgörande för att förhindra kontaminering. De optiska DO-sensorerna från Thornton har lång livslängd och kräver minimalt underhåll, vilket gör dem idealiska för att upprätthålla låga nivåer av löst syre.
pH och konduktivitet är nyckeln i avfallsneutraliseringsprocesser, särskilt när det handlar om skadliga kemikalier som fluorvätesyra eller ammoniak. Genom att använda rätt pH-sensorer säkerställer du säker kassering och efterlevnad av miljöbestämmelser.
Övervakning av kiseldioxid och natrium hjälper till att upprätthålla hälsan hos blandade bäddar eller elektrodejoniseringsstackar, som är avgörande för vattenrening.
Organiska föreningar: Övervakning av organiska föroreningar i ultrarent vatten som används i halvledarfabriker. UV/Vis-spektrofotometri kan detektera spår av organiska föreningar genom att mäta absorbansspektrumet, vilket säkerställer att vattnet uppfyller höga renhetsstandarder.
Tungmetallanalys mäter absorptionen av specifika föroreningar, vilket säkerställer att avloppsreningsprocesserna är effektiva och överensstämmer med miljöbestämmelser.
Halvledarindustrin fokuserar i allt högre grad på att minska sitt vattenfotavtryck. Lagstiftningen i olika regioner kräver höga nivåer av återanvändning och återvinning av vatten, ofta upp till 90 %. Effektiv separering och behandling av avfallsflöden, såsom neutralisering av fluorvätesyra och omvandling av ammoniak för säker tömning, är viktiga steg i denna process.
Effektiv hantering av vattnets kretslopp vid tillverkning av halvledare handlar inte bara om att säkerställa högsta kvalitet på ultrarent vatten utan också om att upprätthålla miljöansvaret. Genom att använda avancerad sensorteknik och följa rigorösa övervaknings- och underhållsprotokoll kan halvledaranläggningar optimera sin vattenanvändning, säkerställa efterlevnad av regulatoriska standarder och bidra till miljömässig hållbarhet.
METTLER TOLEDO Thornton tillhandahåller en omfattande portfölj av sensorer och analysatorer, inklusive sensorer för pH, konduktivitet, resistivitet, TOC, upplöst syre, mikrobiell detektering och kiseldioxid. ISM-teknik (Intelligent Sensor Management) erbjuder prediktiv diagnostik, adaptiv kalibrering och underhållsvarningar, vilket förbättrar drifteffektiviteten och minskar driftstoppen.
Offline-vattenanalyser som utförs punktligt hjälper till att verifiera noggrannheten i onlineövervakningssystemet, med tillämpningar för stationära instrument som densitet, brytningsindex, pH, konduktivitet, joner och upplöst syre (DO),titrering och UV/Vis-mätningar.
Vi förstår att precision och tillförlitlighet är avgörande i ditt arbete, och våra lösningar är utformade för att stödja dig varje steg på vägen. Vårt team är dedikerade till att se till att din utrustning fungerar smidigt så att du kan fokusera på det som är viktigast – att uppnå banbrytande resultat. Låt oss arbeta tillsammans för att förbättra dina ansträngningar och driva innovation inom halvledarområdet.
