Effektiv vannsyklusstyring er avgjørende i halvlederproduksjon på grunn av den utstrakte bruken av ultrarent vann (UPW) i ulike prosesser. Halvlederindustrien er den største forbrukeren av UPW globalt, noe som krever strenge protokoller for å administrere og resirkulere denne ressursen effektivt.
METTLER TOLEDOs Thornton-instrumenter overvåker alle stadier av vannrensing in-line, mens METTLER TOLEDOs laboratorieinstrumenter er ideelle for punktlige vannkvalitetskontroller i laboratoriet og på linjen.
Vannsyklusen i halvlederproduksjon begynner med at råvann (1) bringes til anlegget, hvor det gjennomgår forbehandling (2), sminke og polering (3) trinn. Når den er polert, distribueres UPW til fabrikasjonsanlegget (4 - Fab), hvor den brukes i flere verktøy og prosesser, for eksempel rengjøring, etsing og kjemisk mekanisk planarisering (CMP). Etter bruk gjenvinnes vannet ofte (5) for resirkulering innenfor UPW-sløyfen, brukes i andre applikasjoner som kjeler og scrubbere (11), eller behandles som avfall (6) basert på forurensningsnivåene.
Resistivitet og totalt organisk karbon (TOC) er avgjørende for å overvåke UPW-kvaliteten. For eksempel bør resistiviteten ikke være mindre enn 18,18 megaohm per centimeter ved 25 °C, og TOC-nivåene bør holdes under 1 del per milliard (ppb).
Oppløst oksygen (DO) er avgjørende for å forhindre kontaminering. De optiske DO-sensorene fra Thornton har lang levetid og krever minimalt med vedlikehold, noe som gjør dem ideelle for å opprettholde lave nivåer av oppløst oksygen.
pH og konduktivitet er nøkkelen i avfallsnøytraliseringsprosesser, spesielt når du arbeider med skadelige kjemikalier som flussyre eller ammoniakk. Bruk av riktige pH-sensorer sikrer sikker avhending og overholdelse av miljøforskrifter.
Silika- og natriumovervåking bidrar til å opprettholde helsen til blandede eller elektrodeioniseringsstabler, som er avgjørende for vannrensing.
Organiske forbindelser Overvåking av organiske forurensninger i ultrarent vann som brukes i halvlederfabrikker. UV/Vis-spektrofotometri kan oppdage spor av organiske forbindelser ved å måle absorbansspekteret, noe som sikrer at vannet oppfyller høye renhetsstandarder.
Tungmetallanalyse måler absorbansen til spesifikke forurensninger, og sikrer at avløpsrenseprosessene er effektive og i samsvar med miljøforskrifter.
Halvlederindustrien er i økende grad fokusert på å redusere vannavtrykket. Lovgivning i ulike regioner krever høye nivåer av gjenbruk og gjenvinning av vann, ofte opptil 90 %. Effektiv segregering og behandling av avfallsstrømmer, som nøytralisering av flussyre og konvertering av ammoniakk for sikker utslipp, er kritiske trinn i denne prosessen.
Effektiv vannsyklusstyring i halvlederproduksjon handler ikke bare om å sikre den høyeste kvaliteten på UPW, men også om å opprettholde miljøansvar. Ved å bruke avansert sensorteknologi og følge strenge overvåkings- og vedlikeholdsprotokoller, kan halvlederanlegg optimalisere vannbruken, sikre samsvar med regulatoriske standarder og bidra til miljømessig bærekraft.
METTLER TOLEDO Thornton tilbyr en omfattende portefølje av sensorer og analysatorer, inkludert sensorer for pH, konduktivitet, resistivitet, TOC, oppløst oksygen, mikrobiell deteksjon og silika. Disse instrumentene er integrert i å opprettholde UPW av høyeste kvalitet. ISM-teknologi (Intelligent Sensor Management) tilbyr prediktiv diagnostikk, adaptiv kalibrering og vedlikeholdsvarsler, noe som forbedrer driftseffektiviteten og reduserer nedetid.
Frakoblede vannanalyser som utføres punktlig, bidrar til å verifisere nøyaktigheten til det nettbaserte overvåkingssystemet, med bruksområder for stasjonære instrumenter som tetthet, brytningsindeks, pH, konduktivitet, ioner og oppløst oksygen (DO),titrering og UV/Vis-målinger.
Vi forstår at presisjon og pålitelighet er avgjørende i arbeidet ditt, og løsningene våre er designet for å støtte deg hele veien. Teamet vårt er dedikert til å holde utstyret ditt i gang, slik at du kan fokusere på det som betyr mest – å oppnå banebrytende resultater. La oss jobbe sammen for å forbedre innsatsen din og drive innovasjon innen halvlederfeltet.
