Parámetros de depuración del agua

La industria de los semiconductores depende de la máxima calidad del agua ultrapura (UPW) para producir los circuitos integrados actuales. Este seminario web a petición cubre los parámetros analíticos críticos necesarios para la producción de UPW y cómo utilizar las mediciones para mejorar el control de proceso.

El ponente analiza no sólo los parámetros analíticos críticos de purificación del agua para el control de los patines UPW, sino también dónde controlarlos en el proceso.

Se repasan los límites recomendados para los parámetros de purificación del agua para la supervisión de UPW y esas normas, y el ponente también detalla las herramientas analíticas que deben utilizarse para proporcionar información adicional y controlar la producción de UPW. No sólo la medición de la resistividad, el COT, el sílice y el oxígeno disuelto es crítica para mantener la máxima calidad del UPW, sino que estos parámetros de purificación del agua son mediciones clave para el uso del UPW en la variedad de herramientas de semiconductores.