Un nivel bajo de sílice pppb es vital en la producción de microelectrónica, pero el mantenimiento frecuente común a la mayoría de los analizadores de sílice puede resultar frustrante. Para un fabricante estadounidense, el cambio al 2850Si de METTLER TOLEDO ha reducido el mantenimiento y está proporcionando una mayor confianza en la calidad del UPW.
Si hay sílice en el agua ultrapura, las gotas de agua que se secan en las obleas de silicio pueden reducir la adherencia de la película, la resistencia de contacto y, por tanto, los defectos y el rendimiento de las obleas.
Este estudio de caso examina por qué este fabricante líder de microelectrónica seleccionó un analizador de sílice de METTLER TOLEDO para controlar los niveles de sílice de bajo ppm en su sistema de agua ultrapura.
El sílice se encuentra en todos los suministros de agua y requiere la separación por membranas y/o el intercambio iónico para su eliminación. Los niveles de sílice fuera de especificación en las columnas de resina o en cualquier otro lugar, provocan retrasos en los productos y pérdidas de ingresos mientras se encuentra y remedia la fuente de contaminación. Para minimizar estos problemas, la cantidad de sílice en el agua ultrapura debe vigilarse continuamente en los lugares adecuados y controlarse a niveles inferiores a pppb.
La medición directa y continua de la sílice es el medio más eficaz para protegerse de la contaminación por sílice que se libera de la resina aniónica a medida que se acerca a su agotamiento. El sílice tiene una conductividad insignificante y, por lo tanto, no puede detectarse mediante mediciones de resistividad a los niveles necesarios para un control adecuado de los sistemas de purificación de UPW.
El analizador de sílice 2850Si de METTLER TOLEDO es un instrumento compacto que proporciona mediciones fiables de sílice de bajo ppm con una supervisión mínima por parte del operario.
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