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Un importante fabricante de semiconductores requería un sensor de resistividad que superara el rendimiento de los instrumentos disponibles actualmente. METTLER TOLEDO Thornton trabajó con la fábrica en un sensor que establece un nuevo estándar en la medición de resistividad.
La exigente solicitud del fabricante para mejorar el rendimiento de la producción requería un nivel alto de estabilidad y exactitud en la medición de la resistividad, más allá de los estándares actuales de la industria. Se estableció una asociación con METTLER TOLEDO para encontrar una solución.
El resultado es el UPW UniCond(TM), un sensor de resistividad con una compensación de temperatura, estabilidad de señal y aislamiento ambiental significativamente mejores que los disponibles anteriormente.
Basándose en resultados de pruebas de gran éxito, el fabricante ha aceptado el UPW UniCond como su nueva solución de medición de resistividad y ha especificado que todas sus plantas globales utilicen el nuevo sensor al actualizar o diseñar nuevas fábricas.
En este caso práctico se analizan las pruebas realizadas por el fabricante y los resultados.
A medida que los anchos de línea de semiconductores continúen reduciéndose, la necesidad de mejorar la calidad del UPW solo crecerá para mantener un alto rendimiento de wafers.
La mayoría de los sensores de resistividad ofrecen un medición exactitud de +/- 1 %. Actualmente, los niveles de acción establecidos por SEMI F63 se encuentran dentro de este intervalo de error. Este nivel de incertidumbre puede ser aceptable para algunos procesos, pero no ayuda a los semi fabricantes a satisfacer sus necesidades para la producción de tecnologías de próxima generación. El UPW UniCond es el único sensor de resistividad disponible capaz de alcanzar un ≥05 % de exactitud en la medición de resistividad con compensación de temperatura.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Sensor de conductividad / sensor de resistividad")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Transmisores")