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Uno de los mayores productores de semiconductores de Asia estaba teniendo problemas con sus mediciones de oxígeno disuelto. Estaban usando un sistema costoso, que después del mantenimiento necesitaba de tres a cuatro días antes de que las lecturas de oxígeno disuelto fueran lo suficientemente estables para su uso.
La planta de fundición evaluó el sensor óptico de oxígeno disuelto y el transmisor M800 de METTLER TOLEDO Thornton como una solución para sus mediciones de oxígeno disuelto en su sistema de agua ultrapura.
La medición de los niveles de oxígeno disuelto ha sido una de las principales prioridades en esta planta de fabricación de semiconductores. Sus expectativas eran altas, ya que exigían una velocidad de respuesta muy rápida, bajos niveles de detección y un mantenimiento reducido. METTLER TOLEDO no solo pudo satisfacer estas expectativas sino que fue capaz de superarlas con una solución que incluía un sensor óptico de oxígeno disuelto y un transmisor M800. Los sensores de oxígeno disuelto con tecnología óptica no requieren polarización, por lo que la disponibilidad del sistema de medición es muy elevada. El transmisor M800 ofrece capacidades multicanal y multiparamétricas, que permiten que la medición de oxígeno disuelto se pueda combinar con la medición de otros parámetros.
Descargue el caso práctico para leer toda la información, incluidos los siguientes temas:
- Motivos para medir el oxígeno disuelto en un planta de fundición para la fabricación de semiconductores
- Ventajas en materia de precisión y capacidad de respuesta
- Ahorro a largo plazo con las mediciones ópticas
El oxígeno disuelto se mide después de la desgasificación del agua ultrapura (UPW) para confirmar la eliminación del oxígeno del agua. Al reducir los niveles de oxígeno disuelto se mantiene una conductividad baja en el agua, lo que resulta fundamental para los siguientes pasos del tratamiento, especialmente para la electrodesionización continua. Las concentraciones de oxígeno disuelto en el agua del punto de uso (POU) durante el procesamiento de lámina se mantienen en niveles inferiores a 5 ppb para evitar la pérdida de control del grosor del óxido de puerta. Un nivel más alto de oxígeno disuelto en el POU puede provocar un ataque inesperado provocado por el agua oxigenada, lo que dará como resultado fallos y rendimientos de producción bajos, con un importante coste económico.
