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A medida que los organismos reguladores ponen cada vez más énfasis en la sostenibilidad, las semifábricas se ven sometidas a una presión creciente para aumentar la calidad y disminuir la cantidad de agua en los flujos de residuos. Como principal indicador de la calidad del agua, la medición precisa de la resistividad es crucial.
La limpieza RCA se utiliza entre cada paso de la producción de obleas y utiliza tres o cuatro baños de limpieza, cada uno seguido de un aclarado con agua ultrapura (UPW) para eliminar productos químicos, residuos y partículas antes del siguiente paso de producción.
Los sensores de resistividad típicos disponibles en la actualidad ofrecen una precisión de medición de +/- 1%. Este nivel de incertidumbre puede ser aceptable para algunos procesos, pero no ayuda a las semifábricas a satisfacer sus necesidades para la producción de tecnologías de próxima generación. Para abordar estos requisitos en constante evolución, METTLER TOLEDO Thornton ha desarrollado el sensor de resistividad UPW UniCond™, el único sensor de resistividad disponible capaz de alcanzar una precisión de ≥0,5% en una medición de resistividad compensada por temperatura.
Para la limpieza de RCA, esta mejora en la precisión de las mediciones ayudará a los usuarios a
- Aumentar el rendimiento de las obleas ajustando las especificaciones de calidad del agua de entrada sin que los niveles de acción caigan dentro del error del sensor.
- Tomar con confianza decisiones más rápidas sobre la relación entre enjuague y resistividad para mejorar el rendimiento.
- Tomar decisiones más rápidas sobre dónde desviar los flujos de residuos, maximizando el agua para recuperación/reutilización y minimizando el agua enviada a vertedero.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Sensor de pH en línea / sensor de ORP (Redox)")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Transmisores")