 |
Измерение удельного сопротивления (величина, обратная электропроводности) важно для контроля качества сверхчистой воды в производстве микроэлектроники. Точные измерения удельного сопротивления необходимы производителям полупроводников для поддержания качества продукции.
Чтобы повысить качество технологического процесса и конечного продукта, специалисты крупного завода по производству полупроводников в Северной Америке искали систему измерения удельного сопротивления, удовлетворяющую высоким требованиям. Вместе с экспертами МЕТТЛЕР ТОЛЕДО они в течение нескольких недель испытывали систему UniCond® для измерения удельного сопротивления в сверхчистой воде. Анализ результатов показал, что по сравнению со старой системой скорость и точность измерений удельного сопротивления значительно повысились. Было принято решение использовать систему UniCond для сверхчистой воды как на новых установках, так и для модернизации действующих линий. Качество измерения удельного сопротивления превзошло все ожидания, а стабильность и точность данной системы превышают возможности любого другого датчика удельного сопротивления, доступного на рынке.
Содержание практического примера:
- задача, с которой столкнулся заказчик;
- описание опытной установки для измерения удельного сопротивления;
- анализ результатов.
Датчик МЕТТЛЕР ТОЛЕДО UniCond для сверхчистой воды позволяет получать результаты анализа с отличной воспроизводимостью без снижения точности. Улучшенная цифровая обработка сигнала снижает уровень помех и на порядок повышает стабильность измерений. Датчик UniCond для сверхчистой воды поддерживает технологию цифрового управления датчиками (ISM). ISM-датчики электропроводности обеспечивают улучшенную производительность по сравнению с аналоговыми датчиками благодаря встроенному микропроцессору, который преобразует аналоговый сигнал от датчика в реальное измеренное значение параметра.
Датчики UniCond для сверхчистой воды обеспечивают высокую точность измерений, поскольку константа встроенной ячейки, датчик температуры и измерительные цепи калибруются вместе. Измерительные цепи автономны, поэтому на них не влияют такие факторы, как длина кабеля, тип подключения или смена трансмиттера. Датчики выдают очень надежный цифровой сигнал, который не подвержен помехам или влиянию смежного оборудования и окружающей среды.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Датчик электропроводности и удельного сопротивления")
