 |
Один из крупнейших производителей микроэлектронных компонентов в Азии столкнулся с проблемами при измерении содержания растворенного кислорода. На предприятиях для измерения РК использовали дорогостоящие системы, которым после технического обслуживания требовалось от трех до четырех дней для стабилизации показаний.
Компания провела оценку пригодности оптических датчиков растворенного кислорода МЕТТЛЕР ТОЛЕДО Thornton и трансмиттеров M800 для измерения содержания растворенного кислорода в системе водоподготовки сверхчистой воды.
При производстве микроэлектронных компонентов крайне важно получать точные данные о содержании растворенного кислорода. Требования к системе были высокими: малое время отклика, высокая чувствительность и простое техническое обслуживание. Компания МЕТТЛЕР ТОЛЕДО смогла не только выполнить, но и превзойти эти требования, предложив систему, включающую в себя оптические датчики растворенного кислорода и трансмиттеры M800. Оптические датчики растворенного кислорода не требуют поляризации, что обеспечивает быструю готовность системы к измерению. Трансмиттер M800 — это многоканальный, многопараметрический трансмиттер, который позволяет объединить измерения растворенного кислорода с измерениями других параметров.
Скачайте описание этого практического примера и ознакомьтесь со всеми подробностями, включая следующие темы:
- Для чего нужно измерять содержание растворенного кислорода при производстве микроэлектронных компонентов?
- Преимущества точности и малого времени отклика.
- Долгосрочная экономия благодаря оптической технологии измерений.
Содержание растворенного кислорода измеряется после дегазации сверхчистой воды, чтобы подтвердить удаление кислорода из воды. Снижение содержания растворенного кислорода обеспечивает низкую электропроводность воды, что крайне важно для последующих этапов процесса, особенно для непрерывной электродеионизации. Во время обработки пластин концентрация растворенного кислорода в воде в точке использования должна поддерживаться на уровне менее 5 ppb. Это необходимо для точного контроля толщины подзатворного окисла. Более высокая концентрация растворенного кислорода может привести к травлению пластины насыщенной кислородом водой, браку и снижению производительности — а следовательно, к большим финансовым затратам.
