UPW 전도도 측정에서 뛰어난 정확도 달성

반도체 칩 웨이퍼 크기가 증가하고 라인 너비가 좁아지면서 초순수 품질에 대한 요구가 증가하고 있습니다. 순도 측정은 특히 순수에서 신뢰할 수 있게 작동하는 전도도 센서를 통해 달성 가능하지만 그 자체로 어려움이 있을 수 있습니다.

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