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아시아 최대의 반도체 제조업체 중 하나가 용존 산소 측정에 어려움을 겪고 있었습니다. 그들은 고가의 시스템을 사용하고 있었지만 유지 보수 후 용존 산소 측정값이 사용할 수 있을 정도로 충분히 안정되기까지는 3~4일이 지나야 했습니다.
그들은 메틀러 토레도 Thornton의 광학 용존 산소 센서와 M800 트랜스미터가 자신들의 초순수 용수 시스템에서 용존 산소 측정에 적합한 솔루션이라고 평가했습니다.
용존 산소 측정은 이 반도체 생산 설비에서 매우 중요합니다. 매우 빠른 응답 속도, 낮은 탐지 수준 및 유지 보수 감소 등 그들이 기대하는 것은 상당히 높았습니다. 메틀러 토레도는 광학 용존 산소 센서 및 M800 트랜스미터를 포함하는 솔루션으로 그 기대를 뛰어넘을 수 있었습니다. 광학 기술이 뒷받침하는 용존 산소 센서는 분극화가 필요하지 않으므로 측정 시스템의 가용성이 매우 높습니다. M800 트랜스미터는 다중 채널 및 멀티파라미터 기능을 제공함으로써 용존 산소 측정과 다른 파라미터 측정이 쌍을 이룰 수 있도록 합니다.
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- 반도체 생산 공장에서 왜 용존 산소를 측정할까요?
- 정밀성 및 응답의 장점
- 광학 측정을 통한 장기적 절감
초순수 용수(UPW)의 탈기 후 용존 산소를 측정해 용수에서 산소가 제거되었는지 확인합니다. 용존 산소 감소는 용수의 낮은 전도도를 유지하며 특히 후속 처리 단계인 연속 전기이온화(CEDI)에 중요합니다. 웨이퍼 가공 중 사용 지점(POU) 용수에서의 용존 산소 농도는 게이트 산화물 두께의 제어 손실을 예방하기 위해 5 ppb 이하로 유지됩니다. POU 내 높은 용존 산소 레벨로 산화된 용수에 의한 예상치 못한 에칭이 발생해 장애와 수율 저하로 인한 막대한 비용 손실이 발생할 수 있습니다.
