• 電阻率和總有機碳 （TOC） 對於監測UPW質量至關重要。例如，在 25° C 時，電阻率不應低於每釐米 18.18 兆歐姆，並且 TOC 水準應保持在十億分之 1 （ppb） 以下。

• 溶解氧 （DO） 對於防止污染至關重要。Thornton 的光學溶氧感測器使用壽命長，維護工作量小，是保持低溶解氧水準的理想選擇。

• pH 值和電導率是廢物中和過程的關鍵，尤其是在處理氫氟酸或氨等有害化學物質時。使用正確的 pH 感測器 可確保安全處置並符合環境法規。

• 二氧化矽和鈉監測有助於保持混床或電去離子煙囪的健康情況，這對於水凈化至關重要。
  

• 有機化合物 監測半導體製造廠中使用的超純水中的有機污染物。紫外/可見分光光度法可以通過測量吸光度光譜來檢測痕量有機化合物，確保水符合高純度標準。

• 重金屬分析測量特定污染物的吸光度，確保廢水處理過程有效並符合環境法規。

半導體行業越來越注重減少其水足跡。各個地區的立法都要求高水準的水再利用和回收，通常高達90%。有效分離和處理廢物流，例如中和氫氟酸和轉化氨以進行安全排放，是該過程中的關鍵步驟。

在半導體製造中，有效的水迴圈管理不僅關乎確保超純水的最高品質，還關乎持續承擔環境責任。通過採用先進的感測器技術並遵守嚴格的監測和維護協定，半導體設施可以優化用水，確保符合監管標準，併為環境可持續性做出貢獻。

梅特勒托利多 Thornton 提供全面的感測器和分析儀產品群組，包括 pH、電導率、電阻率、TOC、溶解氧、微生物檢測和矽膠感測器。這些儀器是保持最高品質 UPW 不可或缺的一部分。 ISM（智慧感測器管理） 技術提供預測診斷、自適應校準和維護警報，從而提高運營效率並減少停機時間。 

準時進行的離線水分析有助於驗證線上監測系統的準確性，適用於密度、示差折光率、pH 值、電導率、離子和溶解氧 （DO）、滴定和 UV/Vis 測量等桌上型儀器 。