 |
Jeden z největších asijských výrobců polovodičů se potýkal se značnými problémy při měřeních rozpuštěného kyslíku. Používal velmi nákladný systém, po jehož údržbě musel čekat tři až čtyři dny, než měření rozpuštěného kyslíku byla dostatečně stabilní a použitelná.
V polovodičové slévárně proto zvažovali řešení METTLER TOLEDO Thornton v podobě optického senzoru rozpuštěného kyslíku a převodníku M800 pro měření rozpuštěného kyslíku v jejich okruhu ultračisté vody.
Přesnost měření rozpuštěného kyslíku byla jednou z hlavních priorit slévárny. Jejich očekávání byla pochopitelně vysoká a zahrnovala velmi rychlou dobu odezvy, nízké detekční úrovně a nižší nároky na údržbu. Tato očekávání společnost METTLER TOLEDO nejenže splnila, nýbrž i překonala díky řešení kombinujícímu optický senzor rozpuštěného kyslíku a převodník M800. Senzory rozpuštěného kyslíku s optickou technologií nevyžadují polarizaci, proto je disponibilita měřicího systému velmi vysoká. Převodník M800 se vyznačuje vícekanálovými a víceparametrovými vlastnostmi, díky nimž je možné měření rozpuštěného kyslíku spárovat i s měřeními jiných parametrů.
Stáhněte si případovou studii, abyste se dozvěděli podrobnosti o následujících tématech:
- Proč měřit rozpuštěný kyslík v polovodičové slévárně?
- Výhody přesnosti a odezvy
- Dlouhodobé úspory s optickými měřeními
Rozpuštěný kyslík se měří po odplynění ultračisté vody (UPW), aby bylo potvrzeno odstranění kyslíku z vody. Snížením rozpuštěného kyslíku lze udržovat nízkou vodivost vody, což je kriticky důležité pro následující fáze její úpravy, zejména pak pro průběžnou elektrodeionizaci. Koncentrace rozpuštěného kyslíku ve vodě v místě použití během zpracování plátů je udržována na hodnotě nižší než 5 ppb, aby se předešlo ztrátě kontroly nad tloušťkou vrstvy oxidu v gate. Vyšší úroveň rozpuštěného kyslíku v místě použití může zapříčinit nečekané leptání okysličenou vodou, což může mít za následek poruchy, nízkou výtěžnost a vysoké finanční ztráty.
