电阻率测量精度

一家大型半导体制造商需要一款性能将超过目前市场上产品的电阻率传感器。梅特勒托利多 Thornton 与晶圆厂合作开发了一种传感器，为电阻率测量树立了新标准。

出于对提升产品良率的需求，该晶圆厂对电阻率测量稳定性和精度的要求远高于当前行业标准水平。因此其与梅特勒托利多建立了合作伙伴关系，以寻找解决方案。

这个解决方案就是UPW UniCond（TM）电阻率传感器，其具有更好的温度补偿、信号稳定性和环境隔离性。

基于非常成功的测试结果，该晶圆厂已验证并接受  UPW UniCond 作为其新的电阻率测量解决方案，并指定其全球所有工厂在升级或设计新晶圆厂时都使用这款新传感器。

本案例研究着眼于制造商的测试结果。