Étude de cas : Pesage de précision dans la production de boues CMP

Obtenir des résultats précis et reproductibles dans les processus de formulation et de mélange des boues

La planarisation chimico-mécanique (CMP) est une étape critique dans la fabrication de semi-conducteurs. Des résultats de pesage précis dans le processus de boue ont un impact sur la qualité des plaquettes et contribuent à réduire la taille des transistors pour développer la prochaine génération de puces.

Dans ce cas, un important producteur de puces semi-conductrices en Asie a cherché à obtenir une plus grande précision dans son processus de formulation CMP grâce à une solution de haute précision entièrement intégrée.

Téléchargez l'étude de cas pour découvrir comment ils bénéficient d'une précision et d'une automatisation accrues.

Répondre à la demande croissante
Obtenir une qualité constante et réduire les coûts