Augmenter le rendement des plaquettes et réduire les déchets

Les régulateurs mettant de plus en plus l'accent sur le développement durable, les fabricants de semi-conducteurs sont de plus en plus contraints d'améliorer la qualité et de réduire la quantité d'eau dans les flux de déchets. En tant qu'indicateur principal de la qualité de l'eau, la mesure précise de la résistivité est cruciale.

Le nettoyage RCA est utilisé entre chaque étape de la production de plaquettes et fait appel à trois ou quatre bains de nettoyage, chacun suivi d'un rinçage à l'eau ultrapure (UPW) pour éliminer les produits chimiques, les résidus et les particules avant l'étape de production suivante.

Les capteurs de résistivité typiques disponibles aujourd'hui offrent une précision de mesure de +/- 1 %. Ce niveau d'incertitude peut être acceptable pour certains processus, mais il n'aide pas les semi fabs à répondre à leurs besoins en matière de production de technologies de nouvelle génération. Pour répondre à ces exigences en constante évolution, METTLER TOLEDO Capteur de résistivité a mis au point le capteur de résistivité UPW UniCond™- le seul capteur de résistivité disponible capable d'atteindre une précision ≥0,5 % sur une mesure de résistivité compensée en température.

Pour le nettoyage RCA, cette amélioration de la précision des mesures aidera les utilisateurs à

Augmenter le rendement des plaquettes en renforçant les spécifications de qualité de l'eau entrante sans que les niveaux d'action ne tombent dans l'erreur du capteur.
Prendre en toute confiance des décisions plus rapides sur le rapport rinçage/résistivité afin d'améliorer le rendement.
Déterminer plus rapidement où détourner les flux de déchets, en maximisant l'eau pour la récupération/réutilisation et en minimisant l'eau envoyée dans les décharges.