 |
Malgré la très grande pureté de l'eau ultrapure utilisée dans la fabrication de semi-conducteurs, elle contient encore des traces de métaux communs et d'autres ions qui peuvent avoir un impact négatif sur le rendement des plaquettes. C'est pourquoi la surveillance précise et en temps réel de la résistivité de l'eau est essentielle.
À mesure que les largeurs de ligne des semi-conducteurs continuent de se réduire et que l'industrie dépasse le nœud de processus de 3 nm, la nécessité d'améliorer la qualité de l'UPW ne fera que croître. La précision des capteurs de résistivité doit continuer à évoluer pour détecter de manière fiable de très petites variations de résistivité sur un fond non nul.
Grâce à sa collaboration avec des partenaires industriels, METTLER TOLEDO a mis au point un capteur de résistivité dont la compensation de température, la stabilité du signal et l'isolation environnementale sont nettement supérieures à celles disponibles auparavant. Cette précision de mesure accrue vous permettra d'améliorer la qualité de l'UPW au niveau des PoD et des PoU, ce qui se traduira par un meilleur rendement des plaquettes de silicium.
Les capteurs de résistivité typiques disponibles aujourd'hui offrent une précision de mesure de +/- 1 %. Actuellement, les niveaux d'action définis par la norme SEMI F63 se situent dans cette plage d'erreur acceptable. Ce niveau d'incertitude peut être acceptable pour certains processus, mais il n'aide pas les semi fabs à répondre à leurs besoins en matière de production de technologies de nouvelle génération. Pour répondre à ces exigences en constante évolution, METTLER TOLEDO Capteur de résistivité UniCond™a mis au point le capteur de résistivité UPW UniCond™- le seul capteur de résistivité disponible capable d'atteindre une précision ≥0,5 % sur une mesure de résistivité compensée en température.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Conductimètres | Sondes de conductivité")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Transmetteurs")