Note d'application : Analyse du COT dans l'eau ultrapure destinée aux semi-conducteurs

Dans cette note d'application, nous expliquons l'importance d'une analyse fiable et en temps réel du COT dans l'eau ultrapure destinée aux semi-conducteurs. L'eau ultrapure est le solvant le plus corrosif et le plus agressif employé par l'industrie des semi-conducteurs dans la production et le nettoyage des wafers. Au cours des quarante dernières années, l'industrie électronique a augmenté, de manière exponentielle, le nombre de circuits qui sont gravés sur des puces en silicium. L'augmentation du nombre de circuits a considérablement diminué les largeurs de ligne, ce qui a ainsi augmenté notablement les exigences en matière de mesure précise et continue du COT dans l'eau ultrapure.

Les procédés de fabrication de semi-conducteurs ont quelques unes des spécifications les plus draconiennes en matière de contamination ionique et organique pour les systèmes de production d'eaux pures et ultrapures. La mesure du COT de l'eau pour la fabrication de semi-conducteurs a permis aux fabricants d'améliorer la qualité des produits et d'augmenter les rendements. Les avancées dans la technologie de purification de l'eau et les innovations dans l'instrumentation pour la surveillance de ces contaminants ont joué un rôle prépondérant dans l'amélioration et la mesure de la qualité de l'eau ultrapure. Ces avancées, à leur tour, ont permis de revoir à la baisse les spécifications pour tous les niveaux de contaminants dans les systèmes à eau ultrapure.

L'analyse du COT dans l'eau ultrapure destinée aux semi-conducteurs est une méthode puissante pour la surveillance des contaminants organiques dans l'eau ultrapure et la santé des systèmes à eau ultrapure utilisés dans l'industrie microélectronique. Les éléments organiques sont une source de nourriture pour toute bactérie susceptible d'exister dans le système de distribution, les cuves de stockage et la technologie industrielle ou les modules de traitement. La mesure précise, rapide et pratique du niveau d'éléments organiques dans un système à eau ultrapure permet d'éviter des pertes de produits se chiffrant en millions d'euros.

L' analyseur 6000TOCi et le transmetteur M800 assurent les performances nécessaires pour atteindre ces exigences tout en proposant les autres avantages d'une mesure en ligne continue dans un conditionnement industriel avec peu de maintenance, grâce à une technologie multiparamétrique éprouvée. L'analyseur 6000TOCi s'interface directement avec le transmetteur M800, ce qui permet de bénéficier de paramètres de mesure complémentaires. L'analyseur 6000TOCi associé au transmetteur M800 est équipé du système Intelligent Sensor Management (ISM) de METTLER TOLEDO. Les diagnostics avancés du système Intelligent Sensor Management (ISM) permettent à votre analyseur de fonctionner de manière optimale, en tout temps.

Pour en savoir plus au sujet de l'analyseur 6000TOCi et du transmetteur M800 et sur la manière dont il peut être utilisé pour analyser le COT, lisez la note d'application et consultez les liens ci-dessous :

Analyseur 6000TOCi – Analyseur de COT hautes performances qui peut surveiller le COT de l'eau pour la fabrication des semi-conducteurs avec une mesure en temps réel et une analyse stable et précise. Analyseur efficace de l'eau avec performances vérifiables du système.
Transmetteur M800 – Transmetteur multiparamètres qui peut accepter trois autres sondes, en plus du COT, notamment la conductivité, le pH, le potentiel Redox (ORP) ou l'oxygène dissous [SST1] , ainsi que des sondes de pression, de niveau de réservoir ou deux capteurs de débit.
Intelligent Sensor Management (ISM) – Technologie numérique de sondes/électrodes qui permet d’anticiper les besoins de maintenance, simplifie la manipulation des sondes/électrodes et garantit l’efficacité de la production.

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