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Die kritischsten Messparameter von UPW in der Mikroelektronik sind total organic carbon, Widerstand, Kieselsäure, gelöster Sauerstoff und gelöstes Ozon. Die Sicherung der Wasserqualität erfordert den Einsatz von leistungsstarken Online-Sensoren und -Analysatoren, die METTLER TOLEDO anbietet.
In dem Leitfaden "5 Critical Measurements for UPW in Microelectronics" finden Sie verschiedene Artikel über die Bedeutung der Messung der Wasserreinheit in der Mikroelektronikindustrie.
Seit 1964 steht METTLER TOLEDO Thornton an der Spitze der Wasserreinheitsmessung in der Halbleiterindustrie und ist weltweit als führend bei UPW-Messungen anerkannt. Die Überwachung von UPW schützt das Endprodukt vor Verunreinigungen und sorgt für eine höhere Ausbeute, kürzere Zykluszeiten und eine verbesserte Wirtschaftlichkeit des Betriebs. METTLER TOLEDO-Instrumente für Widerstand/Leitfähigkeit, TOC, mikrobielle Verunreinigung, pH, ORP, DO, Silizium, Natrium und O3 werden in mikroelektronischen Produktionsanlagen weltweit zur Überwachung und Steuerung kritischer UPW-Systeme eingesetzt. In ""5 Kritische Messungen für UPW in der Mikroelektronik finden Sie Artikel über die verschiedenen Messparameter:
- Total Organic Carbon, Kontinuierlich & On-Line
- Widerstandsfähigkeit, Analyzer für strenge Anforderungen
- Gelöster Sauerstoff, Schnelle Reaktion, Spurenüberwachung
- Gelöstes Ozon, Bestätigen Sie die System-Sanitisierung
Das Portfolio an Sensoren von METTLER TOLEDO umfasst unter anderem Folgendes:
- Sensoren für gelösten Sauerstoff zur Überwachung des Sauerstoffgehaltsin der Leitung.
- TOC analyzer für schnelle und kontinuierliche Messungen.
- Widerstandssensoren mit höchster Genauigkeit und geringstem Wartungsaufwand.
- Silica-Analysatoren für die Kontrolle von Reinwasser.
- Sensoren für gelöstes Ozon für die schnelle Ozonmessung.
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