Silica mit niedrigem ppt-Wert ist für die Produktion von Mikroelektronik unerlässlich, aber die häufige Wartung der meisten Silica-Analysatoren kann frustrierend sein. Ein US-amerikanischer Hersteller hat durch den Wechsel zum 2850Si von METTLER TOLEDO den Wartungsaufwand reduziert und kann sich nun besser auf die UPW-Qualität verlassen.
Wenn Kieselsäure in Reinstwasser vorhanden ist, können Wassertropfen, die auf Siliziumwafern trocknen, zu einer verminderten Filmhaftung, einem geringeren Kontaktwiderstand und damit zu Defekten und einer geringeren Waferausbeute führen.
In dieser Fallstudie wird erläutert, warum sich dieser führende Mikroelektronikhersteller für ein silica analyzer von METTLER TOLEDO zur Überwachung von Siliziumdioxid mit niedrigem ppm-Gehalt in seinem Reinstwassersystem entschieden hat.
Kieselsäure ist in allen Wasserversorgungen enthalten und muss durch Membrantrennung und/oder Ionenaustausch entfernt werden. Ein zu hoher Siliziumdioxidgehalt in Harzsäulen oder anderswo führt zu Produktverzögerungen und Gewinneinbußen, während die Quelle der Verunreinigung gefunden und beseitigt wird. Um diese Probleme zu minimieren, muss die Kieselsäuremenge im Reinstwasser an den richtigen Stellen kontinuierlich überwacht und auf subppb-Werte kontrolliert werden.
Die direkte, kontinuierliche Messung von Kieselsäure ist das wirksamste Mittel, um sich vor einer Kontamination durch Kieselsäure zu schützen, die aus dem Anionenharz freigesetzt wird, wenn es sich der Erschöpfung nähert. Kieselsäure hat eine vernachlässigbare Leitfähigkeit und kann daher mit Widerstandsmessungen nicht in den Mengen nachgewiesen werden, die für eine ordnungsgemäße Kontrolle von UPW-Reinigungssystemen erforderlich sind.
Der METTLER TOLEDO 2850Si silica analyzer ist ein kompaktes Instrument, das zuverlässige Messungen von Silica mit niedrigem ppm-Wert bei minimaler Überwachung durch den Bediener liefert.
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