Erhöhen Sie die Waferausbeute und reduzieren Sie den Abfall

Da die Aufsichtsbehörden immer mehr Wert auf Nachhaltigkeit legen, stehen Halbleiterfabriken unter wachsendem Druck, die Qualität zu verbessern und die Wassermenge in den Abwasserströmen zu verringern. Als wichtigster Indikator für die Wasserqualität ist die genaue Messung des spezifischen Widerstands von entscheidender Bedeutung.

Die RCA-Reinigung wird zwischen den einzelnen Schritten der Waferproduktion eingesetzt. Dabei werden drei oder vier Reinigungsbäder verwendet, die jeweils von einer Reinstwasserspülung (UPW) gefolgt werden, um Chemikalien, Rückstände und Partikel vor dem nächsten Produktionsschritt zu entfernen.

Typische heute erhältliche Widerstandssensoren bieten eine Messgenauigkeit von +/- 1%. Dieses Maß an Unsicherheit mag für einige Prozesse akzeptabel sein, aber es hilft den Halbleiterfabriken nicht, ihre Anforderungen für die Produktion von Technologien der nächsten Generation zu erfüllen. Um diese neuen Anforderungen zu erfüllen, hat METTLER TOLEDO Thornton den UPW UniCond™-Widerstandssensorentwickelt - den einzigen verfügbaren Widerstandssensor, der eine Genauigkeit von ≥0,5% bei einer temperaturkompensierten Widerstandsmessung erreicht.