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Trotz der sehr hohen Reinheit des bei der halbleitenden herstellung verwendeten Reinstwassers enthält es immer noch Spuren von gängigen Metallen und anderen Ionen, die die Ausbeute der Wafer beeinträchtigen können. Aus diesem Grund ist eine genaue Echtzeit-Überwachung des Wasserwiderstands von entscheidender Bedeutung.
Da sich die Linienbreiten von Halbleitern weiter verringern und die Industrie den 3-nm-Prozessknoten überschreitet, wird die Notwendigkeit, die UPW-Qualität zu verbessern, weiter zunehmen. Die Genauigkeit der Widerstandssensoren muss weiter verbessert werden, um sehr kleine Widerstandsänderungen auf einem Hintergrund, der nicht Null ist, zuverlässig zu erkennen.
In Zusammenarbeit mit Partnern aus der Industrie hat METTLER TOLEDO einen Widerstandssensor entwickelt, der eine deutlich bessere Temperaturkompensation, Signalstabilität und Umweltisolierung aufweist als die bisher verfügbaren. Diese höhere Messgenauigkeit ermöglicht es Ihnen, die UPW-Qualität an PoDs und PoUs zu verbessern, was zu einer höheren Waferausbeute führt.
Typische heute erhältliche Widerstandssensoren bieten eine Messgenauigkeit von +/- 1%. Gegenwärtig liegen die von SEMI F63 festgelegten Aktionswerte innerhalb dieses akzeptablen Fehlerbereichs. Dieses Maß an Unsicherheit mag für einige Prozesse akzeptabel sein, aber es hilft den Halbleiterfabriken nicht dabei, ihre Anforderungen für die Produktion von Technologien der nächsten Generation zu erfüllen. Um diesen sich entwickelnden Anforderungen gerecht zu werden, hat METTLER TOLEDO Thornton den UPW UniCond™Widerstandssensor entwickelt - den einzigen verfügbaren Widerstandssensor, der eine Genauigkeit von ≥0,5% bei einer temperaturkompensierten Widerstandsmessung erreicht.
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