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Un important fabricant de semi-conducteurs avait besoin d’un sonde de résistivité dépassant les performances des instruments actuellement disponibles. METTLER TOLEDO Thornton a collaboré avec l’usine pour mettre au point une sonde qui établit une nouvelle référence en matière de mesure de résistivité.
Les exigences du fabricant en matière de rendement de production ont nécessité un niveau de stabilité et de précision de la mesure de la résistivité bien supérieur aux normes industrielles actuelles. Un partenariat avec METTLER TOLEDO a été mis en place pour trouver une solution.
Le résultat est l’UPW UniCond(TM), un sonde de résistivité avec une compensation de température, un signal stable et une isolation environnementale significativement meilleures que celles disponibles auparavant.
Sur la base de résultats de tests très concluants, le fabricant a accepté l’UniCond UPW comme nouvelle solution de mesure de résistivité et a précisé que toutes ses usines à travers le monde utilisent les nouvelles sonde lors de la mise à niveau ou de la conception de nouvelles unités de fabrication.
Cette étude de cas examine les tests effectués par le fabricant et les résultats.
Alors que les largeurs de ligne des semi-conducteurs continuent de se réduire, la nécessité d’améliorer la qualité de l’eau ultrapure ne fera que croître afin de maintenir un rendement élevé des tranches.
La plupart des capteurs de résistivité offrent mesure précision de +/- 1 %. Actuellement, les niveaux d’intervention définis par SEMI F63 se situent dans cette plage d’erreur. Ce niveau de incertitude peut être acceptable pour certaines procédé, mais il n’aide pas les fabricants de semi-conducteurs à répondre à leurs besoins en matière de production de technologies de prochaine génération. UniCond UPW est le seul sonde de résistivité disponible capable de atteindre ≥05 % de précision sur un mesure de résistivité compensé en température.
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