A sílica de baixo nível ppb é vital na produção de microeletrônica, mas a manutenção frequente comum à maioria dos analisadores de sílica pode ser frustrante. Para um fabricante dos EUA, a mudança para o 2850Si da METTLER TOLEDO reduziu a manutenção e está proporcionando maior confiança na qualidade UPW.
Se a sílica estiver presente em água ultrapura, as gotas de água que secarão em wafers de silício podem levar à redução da adesão do filme, resistência de contato e, portanto, defeitos e redução do rendimento do wafer.
Este estudo de caso analisa por que esse fabricante líder de microeletrônicos selecionou um analisador de sílica da METTLER TOLEDO para monitorar os níveis de sílica de baixo ppb em seu sistema de água ultrapura.
A sílica está em todos os suprimentos de água e requer separação por membrana e/ou troca iônica para sua remoção. Níveis de sílica fora das especificações em colunas de resina ou em outros lugares resultam em atrasos no produto e perda de ganhos enquanto a fonte da contaminação é encontrada e remediada. Para minimizar esses problemas, a quantidade de sílica na água ultrapura deve ser monitorada continuamente nos locais apropriados e controlada em níveis sub-ppb.
A medição direta e contínua da sílica é o meio mais eficaz de proteção contra a contaminação da sílica liberada da resina aniônica à medida que se aproxima da exaustão. A sílica tem condutividade insignificante e, portanto, não pode ser detectada usando medições de resistividade nos níveis necessários para o controle adequado dos sistemas de purificação UPW.
O analisador de sílica METTLER TOLEDO 2850Si é um instrumento compacto que fornece medições confiáveis de sílica de baixo ppb com supervisão mínima do operador.
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