 |
Um grande fabricante de semicondutores exigia um sensor de resistividade que superasse o desempenho dos instrumentos atualmente disponíveis. A METTLER TOLEDO Thornton trabalhou com a fábrica em um sensor que define um novo padrão na medição de resistividade.
A aderência exigente do fabricante ao rendimento de produção aprimorado exigiu um nível de resistividade, estabilidade e precisão de medição muito além dos padrões atuais da indústria. Uma parceria com a METTLER TOLEDO foi estabelecida para encontrar uma solução.
O resultado é o UPW UniCond(TM), um sensor de resistividade com compensação de temperatura, estabilidade de sinal e isolamento ambiental significativamente melhores do que os disponíveis anteriormente.
Com base em resultados de teste altamente bem-sucedidos, o fabricante aceitou o UPW UniCond como sua nova solução de medição de resistividade e especificou que todas as suas fábricas globais usassem o novo sensor ao atualizar ou projetar novas fábricas.
Este estudo de caso analisa os testes realizados pelo fabricante e os resultados.
À medida que as larguras de linha de semicondutores continuam a diminuir, a necessidade de melhorar a qualidade do UPW só crescerá para manter o alto rendimento do wafer.
A maioria dos sensores de resistividade oferece precisão de medição de +/- 1%. Atualmente, os níveis de ação definidos pelo SEMI F63 estão dentro desse intervalo de erros. Esse nível de incerteza pode ser aceitável para alguns processos, mas não ajuda as semifábricas a atender às suas necessidades para a produção de tecnologias de próxima geração. O UPW UniCond é o único sensor de resistividade disponível capaz de atingir ≥0,5% de precisão em uma medição de resistividade compensada por temperatura.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Sensor de Condutividade / Sensor de Resistividade")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Transmissores")