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Apesar da pureza muito alta da água ultrapura usada na fabricação de semicondutores, ela ainda contém traços de metais comuns e outros íons que podem afetar negativamente o rendimento do wafer. Como resultado, o monitoramento preciso e em tempo real da resistividade da água é fundamental.
À medida que as larguras de linha de semicondutores continuam a diminuir e a indústria ultrapassa o nó de processo de 3 nm, a necessidade de melhorar a qualidade do UPW só aumentará. A precisão do sensor de resistividade deve continuar a evoluir para detectar de forma confiável mudanças de resistividade muito pequenas em um fundo diferente de zero.
Por meio da colaboração com parceiros do setor, a METTLER TOLEDO desenvolveu um sensor de resistividade com compensação de temperatura, estabilidade de sinal e isolamento ambiental significativamente melhores do que os disponíveis anteriormente. Esse aumento na precisão da medição permitirá que você melhore a qualidade UPW em PoDs e PoUs, levando a um maior rendimento do wafer.
Os sensores de resistividade típicos disponíveis hoje oferecem precisão de medição de +/- 1%. Atualmente, os níveis de ação estabelecidos pelo SEMI F63 estão dentro dessa faixa de erro aceitável. Esse nível de incerteza pode ser aceitável para alguns processos, mas não ajuda as semifábricas a atender às suas necessidades de produção de tecnologias de próxima geração. Para atender a esses requisitos em evolução, a METTLER TOLEDO Thornton desenvolveu o sensor de resistividade UPW UniCond™ - o único sensor de resistividade disponível capaz de atingir ≥0,5% de precisão em uma medição de resistividade com compensação de temperatura.
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.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Transmissores")