Tendências de sustentabilidade hídrica em MicroE
Principais medições analíticas para aumentar o rendimento
Visão geral do programa
- Controle total de carbono orgânico para garantir a detecção de orgânicos sub-ppb e evitar a contaminação bacteriana.
- Resistividade para monitorar a qualidade iônica do UPW e sua qualidade no processo RCA e outras ferramentas SEMI.
- Oxigênio dissolvido e seu monitoramento e controle em UPW.
- Controle de pH como parâmetro crítico para o processo CMP e HF, neutralização de resíduos de amônia Recomendações para segregação de fluxos de recuperação/reutilização/reciclagem.
O papel e a importância das medições UPW.
Os FABS de semicondutores são o maior usuário industrial de água pura e ultrapura (UPW), que são vitais para a qualidade e o rendimento na produção de wafers e circuitos integrados.
A indústria de hoje é desafiada a produzir medições mais precisas e UPW de maior qualidade, bem como reduzir o volume de água e energia usado na produção; além de manter o foco na recuperação, reutilização e reciclagem da água.
Com a demanda por semicondutores continuando a crescer e os rápidos avanços na indústria, os parâmetros analíticos críticos necessários para a produção de UPW para melhorar o controle do processo e o conhecimento sobre como usar essas medições para obter o máximo rendimento são fundamentais.
Falantes
Jim Cannon
Chefe de OEM e Mercados, METTLER TOLEDO Thornton
Depois de receber um bacharelado em Biologia, ele continuou com pós-graduação em Microbiologia e em Biofísica e um MBA em Marketing e Gestão Internacional. O Sr. Cannon tem mais de 40 anos de experiência na gestão, projeto e desenvolvimento de tratamento e tecnologia de água ultrapura. Isso inclui a medição da condutividade diferencial e da oxidação UV para a detecção de TOC em UPW e o projeto e comercialização de módulos de eletrodeionização. O Sr. Cannon está atualmente envolvido nas normas e organizações reguladoras para os mercados de semicondutores, fotovoltaicos e farmacêuticos, incluindo o comitê de instalações e líquidos, a Força-Tarefa de Recuperação/Reutilização/Reciclagem e a Força-tarefa UPW. Ele também esteve intimamente envolvido no desenvolvimento e comercialização de tecnologia alternativa de detecção microbiana online.
