La silice à faible teneur en ppb est vitale pour la production de microélectronique, mais la maintenance fréquente de la plupart des analyseurs de silice peut s'avérer frustrante. Pour un fabricant américain, le passage au 2850Si de METTLER TOLEDO a permis de réduire la maintenance et de renforcer la confiance dans la qualité de l'UPW.
Si de la silice est présente dans l'eau ultrapure, les gouttes d'eau qui sécheront sur les plaquettes de silicium peuvent entraîner une réduction de l'adhérence du film, de la résistance de contact et, par conséquent, des défauts et une diminution du rendement des plaquettes.
Cette étude de cas examine les raisons pour lesquelles ce grand fabricant de microélectronique a choisi un analyseur de silice METTLER TOLEDO pour surveiller les niveaux de silice à faible ppm dans son système d'eau ultrapure.
La silice est présente dans toutes les sources d'approvisionnement en eau et nécessite une séparation par membrane et/ou un échange d'ions pour être éliminée. Des niveaux de silice hors normes dans les colonnes de résine ou ailleurs entraînent des retards de production et des pertes de revenus pendant que la source de contamination est trouvée et corrigée. Pour minimiser ces problèmes, la quantité de silice dans l'eau ultrapure doit être surveillée en permanence aux endroits appropriés et contrôlée à des niveaux inférieurs au ppb.
La mesure directe et continue de la silice est le moyen le plus efficace de se protéger contre la contamination par la silice libérée par la résine anionique lorsqu'elle est proche de l'épuisement. La silice a une conductivité négligeable et ne peut donc pas être détectée à l'aide de mesures de résistivité aux niveaux requis pour un contrôle adéquat des systèmes de purification des eaux usées.
L'analyseur de silice METTLER TOLEDO 2850Si est un instrument compact qui fournit des mesures fiables de silice à faible ppb avec une supervision minimale de l'opérateur.
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