Tendances en matière de durabilité de l'eau dans la microéconomie
Mesures analytiques clés pour augmenter le rendement
Programme
- Contrôle du carbone organique total pour assurer la détection de contaminants organiques sub-ppb et prévenir la contamination bactérienne.
- Résistivité pour contrôler la qualité de l'UPW ionique et sa qualité dans le processus RCA et d'autres outils SEMI.
- L'oxygène dissous, sa surveillance et son contrôle dans l'UPW.
- Contrôle du pH en tant que paramètre critique du procédé CMP et neutralisation des déchets HF, ammoniac Recommandations pour la ségrégation des flux de récupération/réutilisation/recyclage.
Le rôle et l'importance des mesures UPW.
Les FABS pour semi-conducteurs sont les plus grands utilisateurs industriels d'eau pure et ultrapure (UPW), qui sont essentiels à la qualité et au rendement dans la production de plaquettes et de circuits intégrés.
Aujourd'hui, l'industrie doit relever le défi de produire des mesures plus précises et de l'eau ultrapure de meilleure qualité, ainsi que de réduire le volume d'eau et d'énergie utilisé dans la production, tout en maintenant l'accent sur la récupération, la réutilisation et le recyclage de l'eau.
La demande en semi-conducteurs continuant à croître et les progrès rapides dans l'industrie, les paramètres analytiques critiques requis pour la production d'eau usée sont essentiels pour améliorer le contrôle des processus et les connaissances sur la façon d'utiliser ces mesures pour un rendement maximal.
Intervenants
Jim Cannon
Responsable OEM et marchés, METTLER TOLEDO Thornton
Après avoir obtenu une licence en biologie, il a poursuivi avec des diplômes d'études supérieures en microbiologie et en biophysique, ainsi qu'un MBA en marketing et en gestion internationale. M. Cannon a plus de 40 ans d'expérience dans la gestion, la conception et le développement du traitement et de la technologie de l'eau ultrapure. Il a notamment mesuré la conductivité différentielle et l'oxydation UV pour la détection du COT dans l'eau ultrapure et a conçu et commercialisé des modules d'électrodéionisation. M. Cannon participe actuellement aux travaux des organismes de normalisation et de réglementation pour les marchés des semi-conducteurs, du photovoltaïque et des produits pharmaceutiques, notamment au sein du comité sur les installations et les liquides, du groupe de travail sur la récupération, la réutilisation et le recyclage et du groupe de travail sur l'eau ultrapure. Il a également été étroitement impliqué dans le développement et la commercialisation d'une technologie alternative de détection microbienne en ligne.
