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Einer der grössten Halbleiterhersteller Asiens hatte Probleme bei der Gelöstsauerstoffbestimmung. Das Unternehmen setzte ein teures System ein, das erst drei bis vier Tage nach jeder Wartungsmassnahme wieder ausreichend stabile Werte für den gelösten Sauerstoff lieferte.
Die Giesserei testete den optischen O2-Sensor und den Transmitter M800 von METTLER TOLEDO Thornton als Lösung für die Messung gelösten Sauerstoffs in ihrem Reinstwassersystem.
Die Messung von gelöstem Sauerstoff hat daher in dieser Halbleiter-Fertigungsanlage seit jeher höchste Priorität. Die Erwartungen waren hoch: Man benötigte kurze Ansprechzeiten, es mussten niedrigste Konzentrationen bestimmt werden, und der Wartungsaufwand sollte minimiert werden. METTLER TOLEDO konnte die Erwartungen mit einer Lösung auf der Grundlage eines optischen O2-Sensors und eines Transmitters des Typs M800 nicht nur erfüllen, sondern übertreffen. O2-Sensoren, die auf optischer Technologie beruhen, benötigen keine Polarisationszeit. Deshalb ist die Verfügbarkeit des Messsystems sehr hoch. Der Transmitter M800 bietet Mehrkanal- und Multiparameter-Funktionen. Dadurch kann die Sauerstoffmessung mit der Messung anderer Parameter gekoppelt werden.
Laden Sie die Fallstudie herunter und erfahren Sie mehr, beispielsweise zu folgenden Themen:
- Warum den Gehalt von gelöstem Sauerstoff in einer Halbleiter-Fertigungsanlage messen?
- Vorteile von Genauigkeit und Ansprechzeit
- Langfristige Einsparungen durch optische Messungen
Der Gehalt an gelöstem Sauerstoff wird nach der Entgasung von Reinstwasser (UPW) gemessen, um sicherzugehen, dass der Sauerstoff aus dem Wasser entfernt wurde. Durch die Reduzierung gelösten Sauerstoffs bleibt die Leitfähigkeit des Wassers gering. Dies ist für nachgelagerte Aufbereitungsschritte von entscheidender Bedeutung, insbesondere für die kontinuierliche Elektrodeionisation. Konzentrationen gelösten Sauerstoffs im Wasser an der Entnahmestelle (POU) während der Waferbearbeitung werden im Bereich von unter 5 ppb gehalten, um einen Verlust der Kontrolle über die Gate-Oxiddicke zu vermeiden. Ein höherer Gehalt gelösten Sauerstoffs an der Entnahmestelle kann unerwartetes Ätzen durch das sauerstoffhaltige Wasser verursachen, was zu Fehlern und geringen Erträgen führt – bei äusserst hohen Kosten.
